Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Hermetical sealing of pressure sensor diaphragms by CVD of Si1-XGeX with minimized cavity deposition
Walk, Christian; Netaev, Alexander; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2019Hermeticity of SI1-XGeX diaphragms for the fabrication of a capacitive post-CMOS pressure sensor
Walk, Christian; Netaev, Alexander; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Seidl, Karsten
Konferenzbeitrag
2011Autoclaveable miniaturized video endoscopes with simplified flip-chip assembly
Beckert, E.; Wippermann, F.; Walther, S.; Burkhardt, T.; Messerschmidt, B.; Bartnitzek, T.; Vahrenkamp, T.; Eberhardt, R.; Gäbler, D.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag