Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2007Investigations of the influence of dicing techniques on the strength properties of thin silicon
Schönfelder, S.; Ebert, M.; Landesberger, C.; Bock, K.; Bagdahn, J.
Zeitschriftenaufsatz
2005Investigations of strength properties of ultra-thin silicon
Schönfelder, S.; Bagdahn, J.; Ebert, M.; Petzold, M.; Bock, K.; Landesberger, C.
Konferenzbeitrag
2003Structure and properties of high-temperature annealed CVD diamond
Ralchenko, V.; Nistor, L.; Pleuler, E.; Khomich, A.; Vlasov, I.; Khmelnitskii, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Ultra thin ICs and MEMS elements. Techniques for wafer thinning, stress-free separation, assembly and interconnection
Feil, M.; Adler, C.; Klink, G.; König, M.; Landesberger, C.; Scherbaum, S.; Schwinn, G.; Spöhrle, H.
Zeitschriftenaufsatz