Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1990Control of a reactive ion etching process for InP and related materials by in-situ ellipsometry in the near infrared
Muller, R.
Konferenzbeitrag
1990Untersuchungen über Regelparameter in einer Lithographiezelle
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Temmel, G.; Zielonka, G.
Konferenzbeitrag
1989Endpoint detection for CH4/H2 reactive ion etching of InGaAsP heterostructures by mass spectrometry
Schmid, H.; Fidorra, F.; Grutzmacher, D.
Konferenzbeitrag