Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Chiral nanomaterial fabrication by means of on-edge lithography
Dietrich, Kay; Lehr, Dennis; Puffky, Oliver; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Efficient fabrication of complex nano-optical structures by E-beam lithography based on charakter projection
Zeitner, Uwe Detlef; Harzendorf, Torsten; Fuchs, Frank; Banasch, Michael; Schmidt, Holger; Kley, Ernst-Bernhard
Konferenzbeitrag
2010High performance gratings for space applications
Zeitner, U.; Michaelis, D.; Kley, E.-B.; Erdmann, M.
Konferenzbeitrag
2010Smart technology for blazed multilevel gratings in resonance domain
Oliva, M.; Benkenstein, T.; Dunkel, J.; Harzendorf, T.; Matthes, A.; Michaelis, D.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2003Polarizing metal stripe gratings for a micro-optical polarimeter
Clausnitzer, I.; Fuchs, H.-J.; Kley, E.-B.; Tünnermann, A.; Zeitner, U.D.
Konferenzbeitrag
2001Essential reduction of stitching errors in electron-beam lithography using a multiple exposure technique
Steingrüber, R.; Engel, H.; Lessle, W.
Konferenzbeitrag