Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1992High energy ion implantation for semiconductor application at Fraunhofer-AIS, Erlangen
Frey, L.; Bogen, S.; Gong, L.; Jung, W.; Gyulai, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Simulation halbleitertechnologischer Prozess-Schritte in der Mikroelektronik
Lorenz, J.; Pelka, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz