Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1993Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 2
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag