Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Breve introdução à Tecnologia de Salas Limpas: Enfrentando os desafios futuros
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Zeitschriftenaufsatz
2012Future Demands and Challenges for Cleanroom Technology
Gommel, Udo
Vortrag
2012Monitoring method for carbon nanotubes (CNT): Personal sampler and corresponding reading device
Keller, Markus; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne
Konferenzbeitrag
2012A short introduction to cleanliness technology: Meeting the future challenges
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Konferenzbeitrag
2011Contamination control during substrate handling
Bürger, Frank
Konferenzbeitrag
2010Clean technology for the ultra barrier layer production
Bürger, Frank
Vortrag
2010Particle detection in the barrier layer production
Bürger, Frank
Vortrag
2008Methoden und Geräte zur Kontaminationskontrolle technischer Oberflächen
Grimme, Ralf; Schmauz, Günther; Modrich, Kai-Udo
Zeitschriftenaufsatz
2007Contamination control techniques on surfaces
Rochowicz, Markus
Konferenzbeitrag
2007In-Prozess-Kontaminationskontrolle mittels NIR-Systemen
Eigenbrod, Hartmut; Modrich, Kai-Udo
Aufsatz in Buch
2006Approach for a standardized methodology for mulit-site processing of 300 mm wafers at R&D-sites
Öchsner, R.; Frickinger, J.; Pfeffer, M.; Schellenberger, M.; Roeder, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Fritzsche, M.; Kaushik, V.; Renaud, D.; Danel, A.; Claeys, C.; Bearda, T.; Lering, M.; Graef, M.; Murphy, B.; Walther, H.; Hury, S.
Konferenzbeitrag
2006In-Prozess-Kontaminationskontrolle mittels NIR-Systemen
Modrich, K.-U.; Schöbel, J.
Aufsatz in Buch
2006Surface inspection with non-visible technologies: Process integration with low-cost sensors and spectral imaging devices
Eigenbrod, H.
Konferenzbeitrag
2004Surface inspection with near infrared spectroscopy - possibilities, applications and visions
Modrich, K.-U.
Konferenzbeitrag
2001Contamination control in meat processing
Schließer, J.; Huen, J.
Zeitschriftenaufsatz
2001Organic Contamination Workshop 2001. Proceedings
Pfitzner, L.; Bügler, J.; Frickinger, J.
Tagungsband
2000ESD - the contribution to contamination control
Matuscheck, P.
Zeitschriftenaufsatz
1999Einfache Meßverfahren auf Oberflächen (Versuch 3)
Werner, D.
Konferenzbeitrag
1999Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1999Minienvironments and Thermal Effects
Schließer, J.; Staudt-Fischbach, P.
Konferenzbeitrag
1998Automatisierung in der Displayproduktion
Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1998Productronica 97. Proceedings HLF. Semiconductor equipment and materials contamination control and defect reduction
Ryssel, H.; Pfitzner, L.; Trunk, R.
Buch
1995Eine angepaßte Strategie verfolgen. Expertenwissen kann teure Flops vermeiden helfen
Schließer, J.; Schraft, R.D.
Zeitschriftenaufsatz
1992Instrumentation for measuring and monitoring cleanroom suitability of equipment
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1989Contamination measurement and analysis for ultra clean manufacturing devices
Herz, R.; Kahlden, T. von; Klumpp, B.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag