Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Light switched plasma charging protection device for high-field characterization and flash memory protection
Sommer, S.P.; Paschen, U.; Figge, M.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Influence of photoresist pattern on charging damage during high current ion implantation
Dirnecker, T.; Ruf, A.; Frey, L.; Beyer, A.; Bauer, A.J.; Henke, D.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag