Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1995Untersuchung der SIMOX-Technologie zur Erzeugung anwendungsspezifischer SOI-Substrate
Gassel, H.
Dissertation
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 1
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 2
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag