Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 1995 | Untersuchung der SIMOX-Technologie zur Erzeugung anwendungsspezifischer SOI-Substrate
Gassel, H. | Dissertation |
| 1992 | SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 1
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 2
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H. | Konferenzbeitrag |