Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1994Analytic expressions for ion reflection from amorphous targets
Wierzbicki, R.J.; Biersack, J.P.
Zeitschriftenaufsatz
1994Analytical description of high energy implantation profiles of bordon and phosphorus into crystalline silicon
Gong, L.; Bogen, S.; Frey, L.; Jung, W.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1994Reflection approach for the analytical description of light ion implantation into bilayer structures
Wierzbicki, R.J.; Biersack, J.P.; Barthel, A.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Simulation of the lateral spread of implanted ions - theory
Barthel, A.; Krüger, W.; Lorenz, J.
Konferenzbeitrag