Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
|---|
| 2020 | Design and realization of an industrial stand-alone EUV resist qualification setup
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Choi, Seonghyeok; Panitzek, Dieter; Danylyuk, Serhiy; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter | Konferenzbeitrag |
| 2019 | EUV-LET 2.0: A compact exposure tool for industrial research at a wavelength of 13.5nm
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Bahrenberg, Lukas; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Juschkin, Larissa | Konferenzbeitrag |