Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Characterization of EUV induced carbon films using laser-generated surface acoustic waves
Chen, J.; Lee, C.J.; Louis, E.; Bijkerk, F.; Kunze, R.; Schmidt, H.; Schneider, D.; Moors, R.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008Mo/Si multilayers with enhanced TiO2- and RuO2-capping layers
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Fang, M.; Chandhok, M.
Konferenzbeitrag