Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009UV nanoimprint lithography process optimization for electron device manufacturing on nanosized scale
Schmitt, H.; Amon, B.; Beuer, S.; Petersen, S.; Rommel, M.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2008Untersuchung der UV-Nanoimprint-Lithografie als Strukturierungsverfahren für elektronische Bauelemente
Schmitt, H.
Dissertation
2007UV nanoimprint materials: Surface energies, residual layers, and imprint quality
Schmitt, H.; Frey, L.; Ryssel, H.; Rommel, M.; Lehrer, C.
Zeitschriftenaufsatz