Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Monolithisches RC-Element für leistungselektronische Anwendungen
Dorp, Joachim vom
Dissertation
2009Trockenätzen von Solarwafern mit Oberflächenstrukturen im sub-Mikrometer Bereich
Dani, I.; Lopez, E.; Linaschke, D.; Kaskel, S.; Beyer, E.
Konferenzbeitrag
1999Chemically-assisted ion-beam etching of (AlGa)As/GaAs. Lattice damage and removal by in-situ Cl2 treatment
Daleiden, J.; Kiefer, R.; Klußmann, S.; Kunzer, M.; Manz, C.; Walther, M.; Braunstein, J.; Weimann, G.
Zeitschriftenaufsatz
1997Micropatterned multilayer dielectric filters with two spectral characteristics
Frank, M.; Schallenberg, U.B.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
1997Trockenätzverfahren für die Herstellung von monolithisch integrierten optoelektronischen Schaltkreisen
Daleiden, J.
Dissertation
1996Dry etching of Hg(1-x)Cd(x)Te using CH4/H2/Ar/N2 electron cyclotron resonance plasmas
Keller, R.C.; Seelmann Eggebert, M.; Richter, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1996Microstructured multilayer dielectric coatings with binary optical functions
Frank, M.; Schallenberg, U.B.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
1995Characteristics of a two-component chemically-assisted ion-beam etching techniques for dry etching of high-speed multiple quantum well laser mirrors
Sah, R.E.; Ralston, J.D.; Weisser, S.; Eisele, K.
Zeitschriftenaufsatz
1993Integration of a quantum well laser with AlGaAs/GaAs-HEMT electronics.
Bronner, W.; Hornung, J.; Köhler, K.; Olander, E.; Wang, Z.-G.
Konferenzbeitrag
1993Stability of an AlGaAs/GaAs/AlGaAsE/D-HEMT process with double pulse doping
Jakobus, T.; Bronner, W.; Hofmann, P.; Hülsmann, A.; Kaufel, G.; Köhler, K.; Landsberg, B.; Raynor, B.; Schneider, J.; Grün, N.; Windscheif, J.; Berroth, M.; Hornung, J.
Konferenzbeitrag
1991GaAs/AlGaAs HEMT's with sub 0.5 mym gatelength written by E-beam and recessed by dry-etching for direct-coupled FET logic -DCFL-
Hülsmann, A.; Kaufel, G.; Raynor, B.; Glorer, K.H.; Olander, E.; Weismann, B.; Schneider, J.; Jakobus, T.; Koehler, K.
Konferenzbeitrag
1987Electrode separation and convex electrode surfaces in plasma etching
Eisele, K.M.
Zeitschriftenaufsatz