Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2007 | PECVD and plasma etching at atmospheric pressure by means of a linearly-extended DC arc plasma source
Dani, I.; Hopfe, V.; Rogler, D.; Lopez, E.; Mäder, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Verfahrensentwicklung zum definierten Formabtrag mit Laserstrahlung
Lässiger, B.; Treusch, H.G.; Abels, P.; Nöldechen, W.; Petring, D.; Beyer, E. | Konferenzbeitrag |