Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1998Intelligente Sensoren mit integrierter Ausleseelektronik
Bollerott, M.; Machul, O.
Zeitschriftenaufsatz
1995A fully integrated surface micromachined pressure sensor with low temperature dependency
Dudaicevs, H.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Schmidt, W.; Spiegel, E.
Konferenzbeitrag
1992SIMOX, a silicon-technology for high temperature
Burbach, G.
Konferenzbeitrag