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| 2012 | Reinheitsspezifikationen der Halbleiterindustrie an Werkstoffen
Gommel, Udo | Vortrag |
| 2011 | Cleanroom suitability of materials and equipments
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Contamination control during substrate handling
Bürger, Frank | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Folgen von Sauberkeitsvorgaben für die Weiterverarbeitung
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Foreign particle characterisation of parenteral drug product solutions using scanning electron spectroscopy combined with energy dispersive x-ray spectroscopy
Keller, Markus; Lischka, Kai; Posset, Tobias | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2011 | NANODEVICE - Measurement novel concepts, methods and technologies for the production of portable, easy-to-use devices for the measurement and analysis of airborne engineered nanoparticles in workplace air
Keller, Markus; Sitviö, Sari; Savolainen, Kai | Poster |
| 2011 | NANODEVICE. Measurement novel concepts, methods and technologies for the production of portable, easy-to-use devices for the measurement and analysis of airborne engineered nanoparticles in workplace air
Keller, Markus; Sirviö, Sari; Savolainen, Kai | Poster |
| 2011 | Nur keine Angst! Reinheitskontrolle von Einmalspritzen
Keller, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Partikel in der Falle
Walter, Johannes; Frosch, Stefan; Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Partikelemission, chemische Resistenz und Reinigbarkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Vortrag |
| 2011 | Reinigung - die große Unbekannte
Rochowicz, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Wie gut lässt sich eine Oberfläche reinigen?
Waldner, Alina; Keller, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Zehn Jahre Technische Sauberkeit: Steile Karriere einer Qualitätsgröße
Rochowicz, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Filterzentrifuge zur gravimetrischen Analyse von Partikeln in Suspensionen
Rochowicz, Markus | Dissertation |
| 2010 | Folgen von Sauberkeitsvorgaben für die Weiterverarbeitung
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Particle detection in the barrier layer production
Bürger, Frank | Vortrag |
| 2010 | Reinraumtaugliche Materialien
Keller, Markus; Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Verfahren zur Klassifizierung von Partikeln in der Automobilindustrie mittels Luminiszenzspektroskopie
Schmauz, Günther | Dissertation |
| 2009 | Design von Equipment im reinen und hygienischen Bereich
Bürger, Frank; Schweizer, Marion | Aufsatz in Buch |
| 2009 | Reines Equipment. Mit Strömungssimulation Kontaminationsquellen vermeiden
Bürger, Frank | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Material Design - Neueste FuE-Untersuchungen hinsichtlich minimaler Ausgasung und Partikelkontamination
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Praxisnahe Filter-Prüfverfahren - Machbarkeitsstudie
Ernst, Christian; Gröning, Martin | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Qualitätsstandards der Automobilindustrie mit VDA-Band 19 transparent umsetzbar
Isenburg, Thomas; Ernst, Christian; Rochowicz, Markus; Schmauz, Günther | Zeitschriftenaufsatz |
| 2008 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Keller, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Partikelschmutz trotz sauberer Bauteile
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Abscheiden von Chromschichten unter Zusatz von nanoskaligen Dispergenden mit dem Ziel, die Stromausbeute zu steigern
: Metzner, M.; Romankiewicz, K. | Projektbericht |
| 2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Bürger, F. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | On-line monitoring and identification of bioaerosols
Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Reinraumtauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Schlussbericht zum Teilvorhaben Online-Monitoring der Biokontamination von Oberflächen
: Schüle, Andreas (Teilprojektleiter) | Forschungsbericht |
| 2004 | Anwendungen in der Praxis - Abnahme von Reinräumen nach VDI-Richtlinie 2083 Blatt 3
Rapp, A. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | KombiSens: Ein Sensorsystem zur Detektion von partikulären und filmischen Kontaminationen auf technischen Oberflächen
: Wegener, K.; Grimme, R.; Schmauz, G.; Meng, C.R.; Wiedenhöfer, M.; Dorndorf, M.; Phan, M.; Gorski, W.; Haist, T.; Tiziani, H. | Forschungsbericht |
| 2004 | Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Rapp, A. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | On the simulation of space charge in electrostatic powder coating with a corona spray gun
Ye, Q.; Domnick, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Materialien zur Verwendung unter reinen Bedingungen
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Messtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Partikel werden sichtbar: Kleine Kontaminationen vor der Beschichtung erkennen
Grimme, R.; Rochowicz, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Teilchenbahnberechnung zur Simulation von elektrostatischen Lackiervorgängen mit Hochrotationszerstäubern
Scheibe, A. | Dissertation |
| 2000 | Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | "Alles unter Kontrolle" - Neue Wege zur sicheren Prozeßführung bei der Pulverlackierung
Domnick, J.; Cudazzo, M.; Pulli, K.; Steigleder, T.; Strohbeck, U. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Angepasste Reinheitstechnik in der Elektronikfertigung
Matuscheck, P.; Gaugel, T.; Schließer, J.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Bioaerosole - Monitoring mit einem neuartigen Partikelzähler
Schüle, A.; Kölblin, R.; Grimme, R.; Trick, I. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Meßeinrichtung zur direkten Unterscheidung von luftgetragenen biotischen und abiotischen Partikeln
Kölblin, R. | Dissertation |
| 1999 | Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Oberflächen-Partikelmeßtechnik
Grimme, R.; Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Partikelmessung in Druckgasen (Versuch 6)
Matuscheck, P.; Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Partikelmessung in Flüssigkeiten (Versuch 5)
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Qualification of Materials, Components and Systems - Qualification of Fluidhandling Objects
Ernst, C.; Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Strömung und Verhalten im Reinraum (Versuch 7)
Gaugel, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Vorhersage der Schichtdicke und des Auftragswirkungsgrades bei der Pulverbeschichtung
Domnick, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a Cleaning Method
Westkämper, E.; Schüle, A.; Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
| Tagungsband |
| 1998 | Fundamental Principles of Cleanrooms Technology
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Grundlagenuntersuchungen für die Entwicklung neuer Pulverzerstäuber
Domnick, J.; Steigleder, T. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Measuring Techniques in Cleanrooms
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Meßtechnik im Reinraum
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
| Tagungsband |
| 1997 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Meßtechniken in der Reinraumluft zur Abnahme von Reinräumen
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich mikrobiologischer Belastungen
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | On-Line Measurement of Powder Size and Velocity in the Water Atomization Process
Raimann, J.; Brenn, G.; Correia, J.B.; Shohoji, N.; Domnick, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Partikelmeßdatenverarbeitung
Naffin, F. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System
Schließer, J.; Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
| Tagungsband |
| 1996 | Grundlagen der Streulichtpartikelmessung
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Optimization of Ultraclean Gas Supply Systems
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
| Tagungsband |
| 1995 | Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T.v. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Materialien für Reinraumanwendungen
Werner, D.; Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Medienversorgungssysteme
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement
Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Verbundprojekt: Schmierstoff- und energiesparende Schneidwerkzeuge zur Bearbeitung großer Guß- und Stahlbauteile. Teilprojekt: Verschleiß- und reibungsmindernde Beschichtungen
Neumann, H.-G.; Eckel, M. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
| Tagungsband |
| 1994 | Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Kleine Teilchen - Großes Optimierungspotential
Müller, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Materialien für Reinraumanwendungen. Einfache Methoden zur Qualifizierung von Kontaminationen auf technischen Oberflächen
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Der Prozeßreinraum - Neue Strategien zur Qualitätssteigerung am Produkt
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Feinstreinigung von Oberflächen
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
| Tagungsband |
| 1993 | Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Partikelausbreitung im Nachlauf von Kontaminationsquellen. Praktische Konsequenzen für die Gestaltung von Bauteilen
Degenhart, E.; Schließer, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1993 | Partikelmessung auf Oberflächen
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Personal und Fertigung im Reinraum
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B. | Dissertation |
| 1992 | Auslegung reinraumtauglicher Fertigungseinrichtungen unter Berücksichtigung strömungstechnischer Gesichtspunkte
Degenhart, E. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Einfluß von Schmierstoffen auf die Partikelemission von Anlagen. Optimierung von Anlagen
Kaun, R.; Magunna, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Meßergebnisse werden übertragbar. Untersuchung der Partikelreinheit von Werkstück- und Geräteoberflächen
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Monitoring in reinraumtechnischen Anlagen - Statistische Verfahren
Kahlden, T. von | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Neues Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Partikelmeßtechnik auf dem Prüfstand
Ernst, C.; Grimme, R.; Kahlden, T. von; Müller, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Reibbeanspruchte Materialien für Reinraumanwendungen
Kaun, R. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.2. Untersuchungsergebnisse
Magunna, J.; Kaun, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Datenerfassung - Monitoring
Hofer, T.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
| Tagungsband |
| 1991 | Partikelkontamination und Medienversorgung
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Prüfzelle zur Ermittlung von Partikelkontamination
Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien
Degenhart, E.; Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Reinraumtauglichkeit von Materialien
Kaun, R. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Datenerfassung und Auswertung
Hofer, T. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
| Tagungsband |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
| Tagungsband |
| 1990 | Messung der Partikelemission bei Reibbeanspruchung
Warnecke, H.-J.; Kaun, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Monitoring mit integrierten Partikelzählern. Eine Softwarelösung für die automatisierte Ermittlung von Partikelkontaminationen
Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Particle measurements on technical surfaces
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Partikelmessung in der Luft
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Partikelmessungen auf Oberflächen
Klumpp, B. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Partikelmessungen in der Luft
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Partikelmessungen in Druckgasen
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Proposal for the standardization of particle measurements at aedia supply components and its realization in practice
Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Qualification of high purity filter cartridges for ultraclean liquid filtration
Trompler, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Qualification of media supply components
Warnecke, H.-J.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Schrittweise Realisierung bringt den Erfolg. Automatisierungskonzepte für die Fertigung im Reinraum
Frühauf, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume
Schmutz, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Reinigung, Montage und Prüfung im Reinraumtunnel. Integrales Reinheitskonzept zur Herstellung hochreiner Gasversorgungskomponenten
Hase, M.; Herz, R.; Klumpp, B.; Siebald, H.J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Staubarm ist nicht rein. Partikelquellen bei Fertigungsabläufen im Reinraum
Geißinger, J.; Kahlden, T. von; Klumpp, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten
Herz, R. | Dissertation |
| 1989 | Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |