Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1991Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of a SOI layer
Wel, W. van der; Seitz, S.; Weber, J.; Buchner, R.; Haberger, K.; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz
1989Avoidance of substrate damage upon laser recrystallization of an SOI layer
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Laser recrystallization for three-dimensional integration
Buchner, R.; Haberger, K.; Seitz, S.; Weber, J.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Substrate damage free laser recrystallization of polysilicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag
1989Substrate-damage-free laser recrystallization of polycrystalline silicon
Buchner, R.; Haberger, K.; Wel, W. van der; Seegebrecht, P.
Zeitschriftenaufsatz