Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Roll-to-Roll Sputter Deposition of Low Resistance Electrodes on Ultrathin Glass
Fahland, Matthias; Garner, Sean; Pollack, Gerd
Konferenzbeitrag
2009Deposition of PZT thin films on copper-coated polymer foils - challenges and perspectives
Suchaneck, G.; Hubicka, Z.; Dejneka, A.; Guenther, M.; Günther, S.; Meyer, B.; Jastrabik, L.; Gerlach, G.; Schultheiß, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Electrical insulation properties of sputter-deposited SiO2, Si3N4 and Al2O3 films at room temperature and 400 degrees C
Bartzsch, H.; Glöß, D.; Frach, P.; Gittner, M.; Schultheiß, E.; Brode, W.; Hartung, J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Plasmaaktive Bedampfung - ein Hochrateverfahren zur Erzeugung funktioneller Oberflächen mit excellenter Schichtqualität
Metzner, C.; Schultheiß, E.
Zeitschriftenaufsatz
2009Reaktive Nanometer-Multischichten als maßgeschneiderte Wärmequellen beim Fügen
Braun, S.; Dietrich, G.; Gawlitza, P.; Leson, A.
Zeitschriftenaufsatz
2008Einfluss metallischer und keramischer Schichten auf die Wärmedämmung leichter textiler Substrate
Dietzel, Y.; Romstedt, D.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2008Magnetron-PECVD als neuartiger Beschichtungsprozess zur Herstellung von SiO(x)C(y)-Schichten auf flexiblen Substraten
Fahlteich, J.; Fahland, M.; Schönberger, W.; Meyer, B.; Vogt, T.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2006New coating systems for steel strips by physical vapor deposition
Scheffel, B.; Metzner, C.; Rögner, F.-H.
Konferenzbeitrag
2006Nutzung des Pulsmodus als technologischer Parameter beim reaktiven Puls Magnetron Sputtern
Frach, P.; Bartzsch, H.; Glöß, D.; Kirchhoff, V.
Konferenzbeitrag
2006Plasmagestützte Verfahren zur Vorbehandlung metallischer Platten und Bänder
Händel, F.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Morgner, H.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2006Spotless arc activated reactive large area EB-PVD of titanium oxide and titanium nitride
Steuer, C.; Reinhold, E.; Scheffel, B.; Metzner, C.
Konferenzbeitrag
2005Analyse und Modellierung der Einwirkung gepulster Plasmen auf Oberflächen. Teilvorhaben: Grundlegende Untersuchung der Zusammenhänge zwischen Plasmaparametern und Schichteigenschaften beim MF-Puls-Magnetronsputtern
Richter, F.; Bräuer, G.; Möller, W.
Bericht
2005Barriereschichten auf Kunststofffolien
Schiller, N.; Fahland, M.; Charton, C.; Straach, S.; Günther, S.
Konferenzbeitrag
2005Easy-to-clean coatings produced by high-rate pulse magnetron sputtering and plasma-activated evaporation
Glöß, D.; Frach, P.; Metzner, C.; Modes, T.; Zywitzki, O.; Scheffel, B.
Konferenzbeitrag
2005Innovative stationary sputter technologies for precision optical and antireflection coatings
Bartzsch, H.; Frach, P.; Hentsch, W.
Konferenzbeitrag
2005Plasma enhanced CVD process using a dual magnetron as plasma source
Charton, C.; Fahland, M.; Schiller, N.
Konferenzbeitrag
2004Deposition of high barrier films on flexible polymer substrates
Charton, C.; Schiller, N.; Fahland, M.; Holländer, A.; Wedel, A.; Noller, K.
Konferenzbeitrag
2004Pulse magnetron sputtering in a reactive gas mixture of variable composition to manufacture multilayer and gradient optical coatings
Lange, S.; Bartzsch, H.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
2004PVD coating of metallic sheets and strips
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Zeitschriftenaufsatz
2004PVD-Beschichtung metallischer Platten und Bänder
Metzner, C.; Rögner, F.-H.; Heinß, J.-P.; Scheffel, B.
Konferenzbeitrag
2004Silicon oxynitride rugate filters grown by reactive pulse magnetron sputtering
Bartzsch, H.; Lange, S.; Frach, P.; Goedicke, K.
Konferenzbeitrag
1998Abscheidung dünner Schichten aus kubischem Bornitrid (c-BN) mit dem DC-Magnetron Sputterverfahren
Kouptsidis, S.
Dissertation
1998Hohlkathoden-Gasflußsputtern zur Verschleißschutzbeschichtung von Kunststoffen
Kälber, T.
Dissertation
1996Grundprozesse beim Laser-Arc-Beschichtungsverfahren und ihr Einfluß auf Struktur und Eigenschaften diamantähnlicher Kohlenstoffschichten
Drescher, D.
Dissertation
1995Local material removal by focused ion beam milling and etching
Lipp, K.; Frey, L.; Franz, G.; Demm, E.; Petersen, S.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1993Electronic study of plasma-induced damage in GaAs heterostructures.
Zappe, H.P.
Zeitschriftenaufsatz
1988Depth-compositional analyses -angle-resolved x-ray photoelectron spectroscopy- of degradations on etched mercury cadmium telluride.
Seelmann-Eggebert, M.; Richter, H.J.
Zeitschriftenaufsatz
1987Enhanced endurance life of sputtered MoSX filsm on steel by ion beam mixing.
Kobs, H.; Dimigen, H.; Hübsch, H.; Tolle, H.J.; Leutenbecker, R.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz