Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Lifetime-limiting defects in monocrystalline Silicon
Niewelt, Tim
: Weber, Eike R. (Referent); Glunz, Stefan W. (Referent)
Dissertation
2017Generalized approach to design multi-layer stacks for enhanced optical detectability of ultrathin layers
Hutzler, Andreas; Matthus, Christian D.; Rommel, Mathias; Frey, Lothar
Zeitschriftenaufsatz
2017Microscopic photoluminescence spectroscopy on silicon
Heinz, Friedemann D.
: Weber, E.R.; Reindl, L.M.; Lausen, G.
Dissertation
2017Silizium-Kohlenstoff-Hohlraumstrukturen als Anodenmaterial in Lithium-Ionen- und Lithium-Schwefel-Batterien
Baasner, Anne; Dörfler, Susanne; Althues, Holger; Kaskel, Stefan
Abstract
2017UMG Silicon and BOSCO Solar Cells
Fertig, Fabian
: Weber, E.R.; Wöllenstein, J.
Dissertation
2016In-situ observation and modeling of the reactive infiltration process of liquid silicon into porous preforms
Raether, Friedrich; Hofbauer, Peter
Abstract
2015Herstellung und Eigenschaften niedriglegierter Mn, Si, Cr Sinterstähle
Marquardt, Axel
: Kieback, Bernd (Gutachter); Weiß, Andreas (Gutachter); Leyens, Christoph (Betreuer)
Dissertation
2015Interstitial iron impurities at grain boundaries in silicon: A first-principles study
Ziebarth, B.; Mrovec, M.; Elsässer, C.; Gumbsch, P.
Zeitschriftenaufsatz
2014Potential-induced degradation in solar cells: Electronic structure and diffusion mechanism of sodium in stacking faults of silicon
Ziebarth, B.; Mrovec, M.; Elsässer, C.; Gumbsch, P.
Zeitschriftenaufsatz
2013Photovoltaik - Überblick über Markt, Technologien und Herausforderungen
Philipps, S.P.
Aufsatz in Buch
2013Photovoltaik: Technologien und Märkte - Quo Vadis?
Philipps, S.P.; Bett, A.W.
Vortrag
2013Photovoltaik: Technologien und Märkte - Quo Vadis?
Bett, A.W.
Vortrag
2008Assessment of a lasersingulation process for Si-wafers with metallized back side and small die size
Theuss, H.; Koller, A.; Kröninger, W.; Schoenfelder, S.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2005Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik
Bagdahn, J.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2004Automatische Optimierung von Festphasenbildungsprozessen bei der Abscheidung von Reinstsilizium
Kümmel, R.; Blömer, J.; Hediger, F.; Laqua, R.; Bäck, T.; Emmerich, M.
Konferenzbeitrag
2004Betriebsfeste Auslegung von innenhochdruckumgeformten Bauteilen aus AlMgSiO,5V
Wallmichrath, M.; Kaufmann, H.; Roll, K.
Konferenzbeitrag
20022K PL topography of silicon doped VGf-GaAs wafers
Baeumler, M.; Maier, M.; Herres, N.; Bünger, T.; Stenzenberger, J.; Jantz, W.
Zeitschriftenaufsatz
2002Feinbearbeitung von Präzisionsoberflächen
Klocke, F.; Bresseler, B.; Helbig, J.; Heselhaus, M.; Leifhelm, G.; Pähler, D.
Konferenzbeitrag
2002Hundert Wafer auf einen Streich
Kappler, W.
Zeitschriftenaufsatz
2002Prozesskette zur Waferbearbeitung
Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Zeitschriftenaufsatz
2002Trennen von Silizium - Trenntechnologien im Überblick
Klocke, F.; Huttenhuis, S.; Pähler, D.
Zeitschriftenaufsatz
2001Precision machining of future silicon wafers
Klocke, F.; Pähler, D.
Konferenzbeitrag
2001Precision machining of future silicon wafers. Grinding and slicing techniques for flawless qualities
Klocke, F.; Pähler, D.
Konferenzbeitrag
2000Effiziente Prozesskette zur Waferfertigung
Klocke, F.; Gerent, O.; Pähler, D.
Zeitschriftenaufsatz
1999Zerstörungsfreie Prüfung der Haftqualität mit Hilfe von nichtlinearem Ultraschall am Beispiel von diffusionsgeschweißten Silizium-Silizium und Silizium-Glas Wafern
Koka, Ashraf
Diplomarbeit
1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1997Characterization of vapor phase deposited organic molecules on silicon surfaces
Dieckhoff, S.; Höper, R.; Schlett, V.; Gesang, T.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.; Günster, J.; Kempter, V.
Zeitschriftenaufsatz
1997Determination of vacancy concentrations in the bulk of silicon wafers by platinum diffusion experiments
Jacob, M.; Pichler, P.; Ryssel, H.; Falster, R.
Zeitschriftenaufsatz
1997Electron microscopic investigation of structural changes in single crystalline silicon induced by short pulse laser drilling
Kaspar, J.; Luft, A.
Konferenzbeitrag
1996Adhäsion zwischen Polymer und Metall oder Halbleiter. Beobachtungen mit spektroskopischen Methoden
Possart, W.; Dieckhoff, S.
Konferenzbeitrag
1996Adhesion and film structure of cyanurates on solids
Possart, W.; Dieckhoff, S.; Gesang, T.; Schlett, V.; Hennemann, O.-D.
Konferenzbeitrag
1996The analysis of surface-adsorbed organic molecules by alkali-assisted MIES combined with UPS(Hel)
Günster, J.; Ochs, D.; Dieckhoff, S.; Schlett, V.
Zeitschriftenaufsatz
1996Barriereschichten für Verpackungsmaterialien
Amberg-Schwab, S.; Hoffmann, M.; Bader, H.
Zeitschriftenaufsatz
1996Characterization of triazine derivatives on silicon wafers studied by photoelectron spectroscopy (XPS, UPS) and metastable impact electron spectroscopy (MIES)
Dieckhoff, S.; Schlett, V.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.; Günster, J.; Kempter, V.
Zeitschriftenaufsatz
1996Thin film barrier coatings for flexible packagings
Bichler, C.; Bischoff, M.; Langowski, H.-C.; Moosheimer, U.
Zeitschriftenaufsatz
1996Transparente Barrierematerialien durch Bedampfen
Langowski, H.-C.
Zeitschriftenaufsatz
1995Comparative film thickness determination by atomic force microscopy and ellipsometry for ultrathin prepolymer films
Gesang, T.; Fanter, D.; Höper, R.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1995Elektronenspektroskopische Charakterisierung der Adhäsion von Triazinderivaten und Cyansäureestern auf Siliziumoberflächen
Dieckhoff, S.
Dissertation
1995Kalorimetrischer low-cost-Mikrodurchflußmesser für Flüssigkeiten
Kersjes, R.A.; Mokwa, W.; Klein. J.
Zeitschriftenaufsatz
1995Nitrogen implanted etch-stop layers in silicon
Paneva, R.; Temmel, G.; Ryssel, H.; Burte, E.P.
Konferenzbeitrag
1995Prepolymer film growth by adsorption out of solution on silicon and aluminium. An atomic force microscope study
Gesang, T.; Höper, R.; Dieckhoff, S.; Hartwig, A.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1995Ultrasonic transducer with silicon membrane for liquid nebulization
Paneva, R.; Temmel, G.
Konferenzbeitrag
1995X-ray curve characterization of homo-epitaxial layers on silicon deposited after DC hydrogen cleaning
Dommann, A.; Herres, N.; Deller, H.R.; Nissen, H.U.; Krüger, D.; Pixley, R.E.; Ramm, J.
Zeitschriftenaufsatz
1995XPS studies of thin polycyanurate films on silicon wafers
Dieckhoff, S.; Schlett, V.; Possart, W.; Hennemann, O.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1994Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Zeitschriftenaufsatz
1994Single-shell carbon nanotubes imaged by atomic force microscopy.
Höper, R.; Workman, R.K.; Chen, D.; Sarid, D.; Yadav, T.; Withers, J.C.; Loutfy, R.O.
Zeitschriftenaufsatz
1994Transparente Aufdampfschichten aus Oxiden von Si, Al und Mg für Barrierepackstoffe
Bichler, C.; Langowski, H.-C.; Moosheimer, U.; Bischoff, M.
Zeitschriftenaufsatz
1993Ultra-Mikrohärteprüfung im Experiment. Untersuchungen an beschichteten und unbeschichteten Proben
Scheer, C.; Olaf, J.M.; Schenuit, E.
Zeitschriftenaufsatz
1992Dünne anorganische Schichten für Barrierepackstoffe
Langowski, H.-C.; Utz, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Excited defect energy states from temperature dependent ESR.
Kisielowski, C.; Maier, K.; Schneider, J.; Oding, V.
Zeitschriftenaufsatz
1992Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Konferenzbeitrag
1991Correlation of the D-band photoluminescence with spatial properties of dislocations in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Höpner, A.; Ernst, F.; Stefaniak, M.; Alexander, H.; Buchner, R.
Konferenzbeitrag
1991Der intelligente Herzkatheter. Sensoren und Signalvorverarbeitung auf einem Chip
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Zeitschriftenaufsatz
1991Metallization of integrated circuits by laser evaporation of metal sandwich layers
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Konferenzbeitrag
1991Origin of the D-band photoluminescence in silicon
Weronek, K.; Weber, J.; Buchner, R.
Konferenzbeitrag
1991Rekombination an Versetzungen in Silizium und Germanium
Weronek, K.; Weber, J.; Alexander, H.; Buchner, R.
Tagungsband
1991Shallow p-n junctions produced by laser doping with Boron and Phosphorus Silicate glass
Bollmann, D.; Stock, G.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1991Überblick und Haupttrends im Bereich Halbleitermaterialien und -technologien
Kersten, G.
Buch
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Zeitschriftenaufsatz
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1989Zweidimensionale Simulation der lokalen Oxidation von Silizium
Seidl, A.
Dissertation
1988Innentrennschleifen von einkristallinem Silizium
Struth, W.
: König, W. (Prüfer)
Dissertation
1988Präzisionsschleifen sprödharter Werkstoffe
Steffens, K.; Struth, W.
Aufsatz in Buch
1987Beschaffenheit des Schneidbelags beim Innenlochsaegen
Struth, W.; Steffens, K.
Zeitschriftenaufsatz
1987Schneidbelagtopographie beim Innenlochsaegen
Struth, W.
Zeitschriftenaufsatz
1986Hochdosisimplantation von Stickstoff in Silizium - Eine Technik zur Erzeugung von dielektrisch isolierten CMOS-Bauelementen mit hoher Integrationsdichte
Vogt, H.
Buch
19851.54-micro m electroluminescence of erbium-doped silicon grown by molecular beam epitaxy.
Pomrenke, G.; Axmann, A.; Schneider, J.; Eisele, K.M.; Haydl, W.H.; Ennen, H.
Zeitschriftenaufsatz
1985Kuenstliche Einkristalle als Werkstoffe
Diehl, R.
Zeitschriftenaufsatz
19831.54-micro m luminescence of erbium-implanted III-V semiconductors and silicon.
Schneider, J.; Pomrenke, G.; Axmann, A.; Ennen, H.
Zeitschriftenaufsatz
1983Dreidimensionale Strukturierung des Siliziums zum Herstellen von Sensoren
Csepregi, L.; Seidl, H.
Zeitschriftenaufsatz
1983ESR of Fe-S pairs in silicon.
Schirmer, O.F.
Zeitschriftenaufsatz
1983Evidence of amphoteric behavior of Si in VPE InP.
Pomrenke, G.S.
Zeitschriftenaufsatz
1983The lateral-extension of radiation damage in ion-implanted semiconductors.
Fritzsche, C.R.; Rothemund, W.
Zeitschriftenaufsatz
1982Determination of deep donor binding energies from their g values.
Schirmer, O.F.; Scheffler, M.
Zeitschriftenaufsatz
1982Phosphorus pentaflouride and sulfurylfluoride applied to etch SiO2 in search for higher selectivities
Eisele, K.M.
Zeitschriftenaufsatz
1982Range distributions.
Ryssel, H.
Aufsatz in Buch
1982Solubility of Mg and Ca in Silicon
Sigmund, H.; Weiss, D.
Zeitschriftenaufsatz
1981Annealing of boron-implanted silicon using a CW CO2-laser.
Tsien, P.H.; Tsou, S.C.; Takai, M.; Roeschenthaler, D.; Ramin, M.; Ryssel, H.; Ruge, I.; Wittmaack, K.
Zeitschriftenaufsatz
1981Arsenic implanted polysilicon layers.
Ryssel, H.; Bleier, M.; Prinke, G.; Haberger, K.; Kranz, H.; Iberl, F.
Zeitschriftenaufsatz
1981CO2 laser annealing characteristics of high-dose boron and arsenic-implanted silicon.
Tsien, P.H.; Goetzlich, J.; Ryssel, H.; Ruge, I.
Zeitschriftenaufsatz
1981Distortion measurements on pure-silicon and siliconplastic X-ray masks
Triantafyllou, M.; Betz, H.; Heuberger, A.; Tischer, P.
Konferenzbeitrag
1981Hydrogen content and mechanical stress in glow discharge amorphous silicon
Paduschek, P.; Eichinger, P.; Kristen, G.; Mitlehner, H.
Konferenzbeitrag
1981Nd-YAG laser annealing of arsenic-implanted silicon - dependence upon scanning speed and power density.
Tsien, P.H.; Ryssel, H.; Roeschenthaler, D.; Ruge, I.
Zeitschriftenaufsatz
1981Nd-YAG laser annealing of arsenic-implanted silicon - Relaxation of metastable concentration by means of CO2-laser irradiation.
Tsien, P.H.; Ryssel, H.; Roeschenthaler, D.; Ruge, I.
Zeitschriftenaufsatz
1981Nd-YAG laser annealing of gallium-implanted silicon.
Takai, M.; Tsou, S.C.; Tsien, P.H.; Roeschenthaler, D.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1981Optical confinement in thin Si-solar cells by diffuse back reflectors.
Goetzberger, A.
Aufsatz in Buch
1981Spark source mass spectrometry of silicon for solar cells
Hurrle, A.; Dietl, J.
Zeitschriftenaufsatz
1981Spark source mass spectrometry on silicon for solar cells
Hurrle, A.; Dietl, J.
Aufsatz in Buch