Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Piezoelektrische AlN- und AlScN-Schichten für die energieautarke Sensorik
Bartzsch, Hagen; Barth, Stephan; Glöß, Daniel; Frach, Peter; Suchaneck, Gunnar; Gerlach, Gerald
Konferenzbeitrag
1999Wohltemperierte Siliziumscheiben - Simulation und Messung der Temperaturverteilung in einem vertikalen Schichtabscheideofen
Poscher, S.; Wellner, S.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Three-dimensional simulation of layer deposition
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
19973D simulation for sub-micron metallization
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
19973D simulation of sputter deposition of titanium layers in contact holes with high aspect ratios2
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1997Integrated three-dimensional topography simulation of contact hole processing
Bär, E.; Benvenuti, A.; Henke, W.; Jünemann, B.; Kalus, C.; Niedermaier, P.; Lorenz, J.
Konferenzbeitrag
1989Programs for VLSI process simulation
Pichler, P.; Lorenz, J.; Pelka, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag