Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Design Methods and Recommended Practices for Developing a Minienvironment System
Schließer, J.; Klumpp, B.
Konferenzbeitrag
1996Qualification of 200 mm manual loading/unloading equipment with PWP-measurements
Schließer, J.; Kaufmann, T.S.
Konferenzbeitrag
1995Future Smif-Integration for Semiconductor Fabrication
Herzog, O.; Klumpp, B.; Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1993Materialfluß bei Clustertools
Bader, U.
Konferenzbeitrag
1989Konzeption hilft Kosten sparen. Kapselung der Kontaminationsquellen durch lokale Reinräume
Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Modulare Fertigungszelle fuer fotolithographische Prozesse
Mann, R.; Fruehauf, W.
Zeitschriftenaufsatz