Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1999Stromerfassung und Verlustleistungsbegrenzung bei Smart-Power-Ics mit DMOS- und IGBT-Leistungstransistoren
Hemming, E.
Dissertation
1999Surface micromachined high temperature pressure sensors on SIMOX-substrates
Kasten, K.; Amelung, J.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1998Investigation of SiGe/Si-heterostructures with high resolution X-ray diffraction methods
Frohberg, K.; Wehner, B.; Trui, B.; Wolf, K.; Paufler, P.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1998A microstructured silicon substrate for low power multi gas sensor applications
Dura, H.-G.; Mokwa, W.; Werno, J.
Konferenzbeitrag
1997Planar inductors on high-resistive SIMOX-substrates and their use in microwave components
Eggert, D.; Budde, W.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Vorwerk, M.
Konferenzbeitrag
1997A single-poly EEPROM cell in SIMOX technology for high-temperature applications up to 250 deg C
Gogl, D.; Burbach, G.; Fiedler, H.-L.; Verbeck, M.; Zimmermann, C.
Zeitschriftenaufsatz
1997Smart power with 1200V DMOS
Vogt, F.P.; Vogt, H.; Radecker, M.; Fiedler, H.-L.
Konferenzbeitrag
1996CMOS/SIMOX-RF-frontend for 1.7 GHz
Eggert, D.; Budde, W.
Konferenzbeitrag
1996Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1996Mixed-signal CMOS-ASIC for a contactless digital thermometer
Gäbler, U.; Dachselt, F.; Holland, H.-J.; Müller, M.
Konferenzbeitrag
1996SOI-CMOS technology with monolithically integrated active and passive RF devices on high resistivity SIMOX substrates
Hürrich, A.; Hübler, P.; Eggert, D.; Kück, H.; Barthel, W.; Budde, W.; Raab, M.
Konferenzbeitrag
1996A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995CMOS-microwave wideband amplifiers and mixers on SIMOX-substrates
Eggert, D.; Barthel, W.; Budde, W.; Richter, R.; Jentschel, H.-J.; Sawade, F.
Konferenzbeitrag
1995Integration von HF-Bauelementen in einem CMOS-SIMOX-Prozeß
Barthel, W.; Budde, W.; Eggert, D.; Hübler, P.; Hürrich, A.; Kück, H.; Oberschmidt, G.; Raab, M.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995Light dependence of partially depleted SOI-MOSFET's unsing SIMOX substrates
Werner, R.; Zimmermann, C.; Kalz, A.
Zeitschriftenaufsatz
1995Miniature condenser microphone with a thin silicon membrane fabricated on SIMOX substrate
Horwath, P.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995A thermoelectric infrared radiation sensor with monolithically integrated amplifier stage and temperature sensor
Müller, M.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Hübel, A.; Jähne, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995Untersuchung der SIMOX-Technologie zur Erzeugung anwendungsspezifischer SOI-Substrate
Gassel, H.
Dissertation
1995Vertikaler IGBT für intelligente Leistungsschalter in SIMOX-Technologie
Mütterlein, B.
Dissertation
1994Advantages and potential of SOI structures for smart sensors
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1994Dynamic behavior of arsenic clusters in silicon
Bauer, H.; Pichler, P.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1994Electrical and structural characteristics of thin buried oxides
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.F.; Gassel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1994A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, Ralf; Kück, Heinz; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1994Improvement of SIMOX buried oxide breakdown voltage by multiple step and multiple energy implantation
Gassel, H.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1994Monolithisches IR-Sensorsystem in Siliziumtechnologie
Müller, M.; Jähne, R.; Budde, W.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.
Konferenzbeitrag
1994Observation of local SIMOX layers by microprobe RBS
Kinomura, A.; Horino, Y.; Mokuno, Y.; Chayahara, A.; Kiuchi, M.; Fujii, K.; Takai, M.; Lohner, T.; Ryssel, H.; Schork, R.
Zeitschriftenaufsatz
1994Structure and electrical characteristics of a thin buried oxide containing silicon inclusions
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.; Spaggiari, C.; Gassel, H.
Konferenzbeitrag
1993A bulk-JFET and CMOS/SIMOX technology for low noise, high speed charge-sensitive amplifier
Buttler, W.; Cesura, G.; Manfredi, P.F.; Re, V.; Speziali, V.; Burbach, G.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993Electrical and structural characteristics of thin buried oxide
Meda, L.; Bertoni, S.; Cerofolini, G.F.; Gassel, H.
Konferenzbeitrag
1993A fully CMOS compatible infrared sensor fabricated on SIMOX-substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1993An intelligent 600 V vertical IGBT on SIMOX substrate
Mütterlein, B.; Vogt, F.P.; Weyers, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993Novel approach to defect etching in thin film silicon-on-insulator
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
1993The opportunities to combine electronic functions at high temperature
Burbach, G.
Konferenzbeitrag
1993SIMOX and wafer bonding, combination of competitors complements one another
Gassel, H.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993Smart power technology with dielectric insulation. Processes and applications
Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
1993Ein thermoelektrischer Infrarotsensor als Beispiel für den Einsatz von SIMOX-Substraten für die Herstellung von Sensoren und Mikrosystemen
Müller, M.; Köhler, R.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992A 50 V smart power process with dielectric isolation by SIMOX
Vogt, H.; Weyers, J.
Konferenzbeitrag
1992An intelligent 500 V power vertical DMOS on SIMOX substrate. Part 1
Mütterlein, B.; Vogt, F.P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992An intelligent 500 V power vertical DMOS on SIMOX substrate. Part 2
Mütterlein, B.; Vogt, F.P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992Minimum oxygen dose for reliable application of SIMOX
Badenes, G.; Burbach, G.; Gassel, H.; Vogt, H.; Walter, A.
Konferenzbeitrag
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 1
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992Novel approach to defect etching in thin film SOI. Part 2
Gassel, H.; Peter-Weidemann, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992SIMOX, a silicon-technology for high temperature
Burbach, G.
Konferenzbeitrag
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 1
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992SIMOX, an efficient etch-stop to fabricate silicon membranes with well defined thickness. Part 2
Dura, H.-G.; Gassel, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1992Smart power technology with dielectric insulation. Processes and applications
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1991CMOS-compatible magnetic field sensors fabricated in standard and in silicon on insulator technologies
Gottfried-Gottfried, R.; Mokwa, W.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1991Low loss singlemode optical waveguides with large cross-section in silicon-on-insulator
Schmidtchen, J.; Splett, A.; Schüppert, B.; Petermann, K.; Burbach, G.
Zeitschriftenaufsatz
1991SIMOX investigations
Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1991SIMOX-devices for analog circuits
Badenes, G.; Burbach, G.; Gassel, H.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1991Temperaturfeste Bauelemente auf Siliziumbasis
Burbach, G.
Zeitschriftenaufsatz
1990Untersuchung und Entwicklung der CMOS-Technologie auf vergrabenem Isolator als einer neuen VLSI-Technologie. Berichtszeitraum 01.07.1987 - 31.09.1990. BMFT-Abschlußbericht 110620
Abel, H.B.; Gassel, H.; Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Debusmann, K.; Peter-Weidemann, J.; Redlich, S.; Götzen, R.
Buch
1989CMOS/SOI-Technologie auf implantiert vergrabenem Isolator
Belz, J.; Burbach, G.; Vogt, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1989SOI-Technologien
Seegebrecht, P.
Konferenzbeitrag