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| 2013 | Aspekte der Reinheitstechnik. Reinraumtechnik: Schlüsselproduktionstechnologie
Kreck, Guido | Vortrag |
| 2013 | Pipettierroboter. Eignungsprüfung für sterile Produktion
Keller, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2012 | Challenges in the assessment of the cleanroom suitability of equipment and materials
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Cleanroom Equipment & Process Design
Gommel, Udo | Vortrag |
| 2012 | Customized cleanliness suitable cleanrooms and manufacturing equipment
Gommel, Udo; Kreck, Guido; Holzapfel, Yvonne | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Future Demands and Challenges for Cleanroom Technology
Gommel, Udo | Vortrag |
| 2012 | ICCCS 2012, International Symposium on Contamination Control. Clean Technologies - What is the Future?. Program and Proceedings. CD-ROM
: Zingre, Hans (Chairman); Gommel, Udo (Chairman) | Tagungsband |
| 2012 | Investigation of cleaning technologies and validation procedures appropriate to needed cleanliness for instruments used in the search for life
Vrublevskis, John; Kreck, Guido; Gommel, Udo; Lindner, Robert | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Reinraumtechnik - unverzichtbare High-Tech-Lösung für 'saubere' Produkte
Rochowicz, Markus | Vortrag |
| 2012 | Reinraumtechnik. 3., aktual. und erw. Aufl.
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Hortig, Hans-Peter (Hrsg.) | Buch |
| 2012 | A short introduction to cleanliness technology: Meeting the future challenges
Gommel, Udo; Kreck, Guido | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Systeme und Konzepte der Reinraumtechnik
Ernst, Christian; Schmauz, Günther; Kreck, Guido | Aufsatz in Buch |
| 2011 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2011 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Handhabung funktionaler Systeme im Bereich der Batterieproduktion - Betrachtung kontaminationskritischer Gesichtspunkte
Rochowicz, Markus | Vortrag |
| 2011 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Life-Science - related measurements
Keller, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Outgassing measurements - VDI 2083-17
Keller, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Partikel in der Falle
Walter, Johannes; Frosch, Stefan; Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Zeitschriftenaufsatz |
| 2011 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Konferenzbeitrag |
| 2011 | VDA 19.2 Vorstellung des neuen Q-Standards
Boos, Stefan | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2010 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Die Life-Science-Industrie
Keller, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | Logistik und Produkthandhabung im Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Reinraumtechnik in der Lebensmittelindustrie
Keller, Markus | Zeitschriftenaufsatz |
| 2010 | VDA Band 19.2 - ein brandneuer Leitfaden für die technische Sauberkeit in der Montage
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Gestaltung und Betrieb eines Sauberraumes in der Automobil- und Zulieferindustrie
Schmauz, Günther; Ernst, Christian; Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Industrielle Produktion im Reinraum
Gommel, Udo; Keller, Markus | Vortrag |
| 2009 | Planung und Betrieb eines Sauberraumes in der feinwerktechnischen Produktion
Ernst, Christian; Schmauz, Günther | Aufsatz in Buch |
| 2009 | Projektplanung Reinraumtechnik
: Gail, Lothar (Hrsg.); Gommel, Udo (Hrsg.); Weißsieker, Horst (Hrsg.) | Buch |
| 2009 | Qualifizierung von Betriebsmitteln im Reinraum
Gommel, Udo | Aufsatz in Buch |
| 2009 | Reinraumtechnik bei der Herstellung von Medizinprodukten
Harscher, Alexander; Kreck, Guido; Schweizer, Marion | Aufsatz in Buch |
| 2008 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2008 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Beschichtung mechanisch beanspruchter Reinraumkomponenten
Weihnacht, V. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2007 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2007 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Produkthandhabung, Logistik und Reinraum
Schmauz, Günther | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Produktumgebung und Personal
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Reinraumtaugliche Betriebsmittel
Kreck, Guido | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Reinraumtaugliche Materialien - Aktueller Stand bei der Bewertung der Reinraum- und Reinheitstauglichkeit von Werkstoffen
Gommel, Udo | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Sauber und rein in der Fertigung
Rochowicz, Markus; Ernst, Christian | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Werkstoffe auf dem Prüfstand
Rapp, Alexander; Gommel, Udo | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Werkstoffe und Materialien reinheitsgerecht verwenden
Gommel, Udo | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Beschichtungen für reinraumtaugliche Komponenten
Weihnacht, V.; Gommel, U.; Smolinski, D. | Forschungsbericht |
| 2006 | Fertigen unter reinen Bedingungen
| Tagungsband |
| 2006 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Kreck, G. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Advanced production technologies in the photovoltaic industries
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Beherrschung der Kontaminationen
Schüle, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2004
| Tagungsband |
| 2004 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Qualifizierung von Betriebsmitteln und Materialien am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2003
| Tagungsband |
| 2003 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Schlüssel zu Produktionsanlagen für die Reinraumtechnik
Gommel, U.; Rapp, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2002 | "Reinheitstechnische" Logistik
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2002
| Tagungsband |
| 2002 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Produzieren unter reinen Bedingungen
: Schließer, J. | Tagungsband |
| 2002 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Reinraumtechnik
Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Elektrostatik - Ursachen, Wirkungen und Maßnahmen
Matuschek, P. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Messtechnisches Praktikum 2001
| Tagungsband |
| 2001 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Kontaminationsarme Verarbeitung: Gezielter Einsatz der Reinraumtechnik kann Konkurrenzfähigkeit der Produkte verbessern
Schließer, J.; Huen, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2001 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | CleanRooms Europe 2000. Conference proceedings
| Tagungsband |
| 2000 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 2000
| Tagungsband |
| 2000 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Inspektion technischer Oberflächen
Rochowicz, M. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Jeder eine Klasse für sich: Grundlagen und Trends in der reinen Produktion
Schließer, J.; Gaugel, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Kontaminanten im Griff
Schließer, J.; Huen, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Produzieren unter reinen Bedingungen. Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Schließer, J. | Tagungsband |
| 2000 | Qualifizierung von Betriebsmitteln
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Qualifizierung von Betriebsmitteln am Beispiel der Partikelmesstechnik und Elektrostatik
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Tendances actuelles dans la production ultra-propre
Schließer, J.; Huen, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | CleanRooms Europe 1999. Conference proceedings
| Tagungsband |
| 1999 | Fertigen unter reinen Bedingungen. Meßtechnisches Praktikum 1999
| Tagungsband |
| 1999 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Minienvironment system planning
Schließer, J.; Klumpp, B. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Produzieren unter reinen Bedingungen
: Dorner, J. | Tagungsband |
| 1999 | Quo Vadis Reinraumtechnik?
Baumgärtner, H.; Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Reinraumtechnik richtig angewendet - Ein wesentlicher Bestandteil "reiner" Produktionssysteme
Dorner, J.; Schließer, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Der sichere Weg zur Qualitätsverbesserung
Schließer, J.; Werner, D.; Ernst, C.; Gaugel, T.; Güth, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Cleanroom Technology 1998
: Kaufmann, T.; Gommel, U. | Tagungsband |
| 1998 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
| Tagungsband |
| 1998 | Fundamental Principles of Cleanrooms Technology
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Produzieren unter reinen Bedingungen: Grundlagen, Maßnahmen zur Qualitätssicherung und Trends
: Dorner, J. | Tagungsband |
| 1998 | Verbreitung und Tendenzen in der Reinraumproduktion
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Vorbereitung zur Qualifizierung einer reinen Produktion
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
| Tagungsband |
| 1997 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Inspektion technischer Oberflächen
Werner, D. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Reinraumtechnik '97: Qualifizierung und Überwachung. Reinraum und Reinstmedien
| Tagungsband |
| 1997 | VDI-Richtlinie 2083 Blatt 2 - Beiblatt Reinraumtechnik
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Vorbereitung zur Qualifizierung einer reinen Produktion
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Klumpp, B. | Tagungsband |
| 1996 | Cleanroom Technology
: Dorner, J.; Kaufmann, T.S. | Tagungsband |
| 1996 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
| Tagungsband |
| 1996 | Grundlagen der Reinraumtechnik und Personal
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Particle measurements in turbulent flow areas as as part of investigations at cleanroom equipment
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Reinraumtechnik zur Fertigung von Displays
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Eine angepaßte Strategie verfolgen. Expertenwissen kann teure Flops vermeiden helfen
Schließer, J.; Schraft, R.D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
| Tagungsband |
| 1995 | Medienversorgungssysteme
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Die reine Produktion als Qualitätssicherungsinstrument
Kölblin, R. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | The European thrust in an international effort to create minienvironment standards
Schließer, J.; Seybold, D. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Fertigungsoptimierung - Reduzierung von schmutzbedingter Nacharbeit und Feldausfällen
Müller, B. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
| Tagungsband |
| 1994 | Personal und Fertigung im Reinraum
Schließer, J. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Produktion im reinen Umfeld - Branchen, Beispiele, Trends
Müller, B. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik?
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Einschlußtechniken zur Qualitätssicherung in der Reinraumtechnik. Tl.1. Lokale Reinräume, Minienvironments, SMIF, CIP/SIP, Enclosures - Begriffliche Gemeinsamkeiten und Auswirkungen auf die Qualität der Produkte
Weißsieker, H.; Warnecke, H.-J.; Ludwig, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1993 | Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
| Tagungsband |
| 1993 | Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B. | Dissertation |
| 1993 | Standardisierung.
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Anwendungen der Reinraumtechnik außerhalb der Halbleiterherstellung und der Pharmazie - Übersicht
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.1. Grundlagen
Magunna, J.; Kaun, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Schmierfette in der Reinraumtechnik. Einfluß von Schmierfetten auf das Partikelemissionsverhalten von Anlagen. Tl.2. Untersuchungsergebnisse
Magunna, J.; Kaun, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum 1991
| Tagungsband |
| 1991 | Peripherie im Mittelpunkt. Entwicklungstendenzen beim Einsatz von Industrierobotern
Schweizer, M.; Würtz, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Prozeßtechnologie
Schumicki, G.; Seegebrecht, P. | Buch |
| 1990 | Automatisierte Ermittlung von Partikelkontamination. Integrierbare Softwarelösung als Voraussetzung
Warnecke, H.-J.; Sauter, K.-D.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Automatisierungskonzepte für die Fertigung und Materialverteilung im Reinraum
Frühauf, W. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Clean Equipment Design of Manufacturing Devices and Components
Degenhart, E.; Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Den Gigachip im Visier
Dorner, J.; Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Einsatz des Laser-Lichtschnittverfahrens zur Optimierung von Reinraumströmungen
Kelemen, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. März 1990
| Tagungsband |
| 1990 | Meßtechnisches Praktikum im Reinraum. Oktober 1990
| Tagungsband |
| 1990 | Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Standardlösungen sind Mangelware. IPA baut Reinraumtechnik aus
Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Strömungstechnische Gestaltung von Anlagenkomponenten
Degenhart, E. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | The support of FhG IPA to E and M manufacturers
Geißinger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Trennung von Mensch und Maschine. Reinraumfertigung
Frühauf, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Turbulenzuntersuchungen im Reinraum. Auswirkungen auf die Umströmung sowie die Partikelausbreitung im Nachlauf von Bauteilen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Vorgehensweisen zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von; Schmutz, W. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Auslegung unter strömungstechnischen Gesichtspunkten. Reinraumtaugliche Fertigungseinrichtungen
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Lokale Reinräume. Flexibles, fotolithographisches Prozeßzentrum für die Halbleiterfertigung
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Kelemen, M.; Mann, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Prozeßtechnische Aspekte fortschrittlicher Halbleiterfertigungsgeräte
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schmutz, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Der Reinraum als Produktionsumfeld für die Halbleiterfertigung
Schmutz, W. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Reinraum-Pneumatik. Konstruktive Unterschiede zu Standardkomponenten
Schmutz, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Reinraumtechnik
Siegfried, F. | Aufsatz in Buch |
| 1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Trennung von Mensch und Produkt. Einsatz von Handhabungssystemen im Reinraum
Geißinger, J.; Schraft, R.D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1989 | Vorgehensweise zur Kontaminationsminimierung bei Fertigungsgeräten
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1988 | Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D. | Konferenzbeitrag |
| 1988 | Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie noetig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung
Schraft, R.D.; Schmutz, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1988 | Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1988 | TUEV fuer Reinraeume. Pruefzentrum im IPA untersucht Reinraumtauglichkeit
Klumpp, B.; Schmutz, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1986 | Mikroelektronik und Reinraumtechnik
Ryssel, H. | Konferenzbeitrag |