Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2018Temperature cross-sensitivity of AlN-based flexural plate wave sensors
Reusch, Markus; Holc, Katarzyna; Lebedev, Vadim; Kurz, Nicolas; Zukauskaite, Agne; Ambacher, Oliver
Zeitschriftenaufsatz
2017Flexural plate wave sensors with buried IDT for sensing in liquids
Reusch, Markus; Holc, Katarzyna; Zukauskaite, Agne; Lebedev, Vadim; Kurz, Nicolas; Ambacher, Oliver
Konferenzbeitrag
2009Performance modification of SiC MEMS
Niebelschütz, F.; Brueckner, K.; Cimalla, V.; Hein, M.A.; Pezoldt, J.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2003Micromachined strip line with SU-8 as the dielectric
Osorio, R.; Klein, M.; Massler, H.; Korvink, J.
Konferenzbeitrag