Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1987Application of lead electroplating for X-ray absorber patterning
Trube, J.; Huber, H.-L.; Löchel, B.; Windbracke, W.
Zeitschriftenaufsatz
1987High resolution e-beam lithography for X-ray mask making
Demmeler, R.; Ehrlich, C.; Pongratz, S.; Reimer, K.
Zeitschriftenaufsatz
1987Identification and removal of opaque defects on X-ray masks in a focussed ion beam repair system
Weigmann, U.; Burghause, H.; Schaffer, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Influence of phase shift on pattern transfer in X-rax lithography
Oertel, H.; Huber, H.-L.; Weiß, M.
Zeitschriftenaufsatz
1987Laser-induced metal deposition on silicon membranes for X-ray lithography
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Konferenzbeitrag
1987Repair of clear X-ray mask defects by laser-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Zeitschriftenaufsatz
1987Reparatur klarer Defekte auf Roentgenmasken durch laserpyrolytische Materialabscheidung
Petzold, H.-C.; Weigmann, U.
Abstract
1987Reparatur von Röntgenmasken mit Ionenstrahlen
Weigmann, U.
Konferenzbeitrag