Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2014Artificial evolution for the optimization of lithographic process conditions
Fühner, Tim
: Erdmann, Andreas
Dissertation
2006Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2002Thermoelectric Si(1-x)Ge(x) and PbTe thin films for device applications
Künzel, C.; Beyer, H.; Braun, M.; Feißt, A.; Lambrecht, A.; Nurnus, J.; Plescher, G.; Vetter, U.
Konferenzbeitrag
1997High-throughput optical direct write lithography
Paufler, J.; Kück, H.; Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1995New system for fast maskless submicron lithography - challenge on fast flexible data handling
Kück, H.
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1994Bleachable dyed resist - investigation of its process latitude in comparison with standard resists
Kunze, D.; Pforr, R.
Zeitschriftenaufsatz
1993Mehrlagenmetallisierung für hochintegrierte mikroelektronische Schaltungen
Vogt, H.
Habilitationsschrift