Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Herstellung von periodischen Oberflächenstrukturen mittels Laserinterferenzstrukturierung
Lasagni, A.; Bieda, M.; Berger, J.; Roch, T.; Menendez-Ormaza, B.S.
Konferenzbeitrag
1994Bleachable dyed resist - investigation of its process latitude in comparison with standard resists
Kunze, D.; Pforr, R.
Zeitschriftenaufsatz
1983Application of novolack resist systems in x-ray mask fabrication
Pongratz, S.; Betz, H.; Heuberger, A.
Konferenzbeitrag
1983Ion beam lithography
Ryssel, H.; Haberger, K.
Aufsatz in Buch
1983Properties of crosslinked positiv-acting X-ray, resists, fabricated on the basis of poly
Asmussen, F.; Betz, H.; Chen, B.T.; Heuberger, A.; Pongratz, S.; Sotobayashi, H.; Schnabel, W.
Zeitschriftenaufsatz
1983Simulation of the lithographic properties of ion-beam resists
Haberger, K.; Hoffmann, K.; Forster, M.; Ryssel, H.
Aufsatz in Buch
1981Computer simulations of resit profiles in X-ray-lithographie.
Heinrich, K.; Betz, H.; Heuberger, A.; Pongratz, S.
Zeitschriftenaufsatz
1981Ion beam sensitivity of polymer resists.
Ryssel, H.; Haberger, K.; Kranz, H.
Zeitschriftenaufsatz
1981Resist investigation for ion-beam lithography.
Ryssel, H.; Kranz, H.; Haberger, K.; Bosch, J.
Konferenzbeitrag