Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Freisetzung und Ausbreitung von Partikeln aus Tribosystemen im Hochvakuum
Bürger, Frank Friedrich
: Deters, Ludger (Gutachter); Verl, Alexander (Gutachter)
Dissertation
2016Reinheit von Produkten und Bauteilen 2
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2016Reinheit von Produkten und Bauteilen 2
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2015Reinheit von Produkten und Bauteilen 2
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2014Reinheit von Produkten und Bauteilen 2
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2014Technische Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Konferenzbeitrag
2013Reinheit von Produkten und Bauteilen 2
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2011Flüssigkeitspartikelmessung und Reinstmedien
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2011Wie gut lässt sich eine Oberfläche reinigen?
Waldner, Alina; Keller, Markus
Zeitschriftenaufsatz
2010Flüssigkeitspartikelmessung und Reinstmedien
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2008Flüssigkeitspartikelmessung und Reinstmedien
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2007Flüssigkeitspartikelmessung und Reinstmedien
Ernst, Christian
Konferenzbeitrag
2007Produktumgebung und Personal
Rochowicz, Markus
Konferenzbeitrag
2007Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, Markus
Konferenzbeitrag
2006Fertigen unter reinen Bedingungen
 
Tagungsband
2006On-line monitoring and identification of bioaerosols
Rösch, P.; Harz, M.; Peschke, K.-D.; Ronneberger, O.; Burkhardt, H.; Schüle, A.; Schmauz, G.; Lankers, M.; Hofer, S.; Thiele, H.; Motzkus, H.-W.; Popp, J.
Zeitschriftenaufsatz
2006Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Konferenzbeitrag
2006Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Konferenzbeitrag
2006Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
2006Produktumgebung und Personal
Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
2006Sauberkeit als messbares Produktmerkmal
Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
2005Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Konferenzbeitrag
2004Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Konferenzbeitrag
2003Partikelmessung in Reinstmedien
Schmauz, G.
Konferenzbeitrag
2002Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
2001Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2000Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
2000Überwachung der Oberflächenreinheit von Bauteilen und Einrichtungen im reinen Umfeld
Grimme, R.; Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
1999Partikelmessung in Flüssigkeiten (Versuch 5)
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1999Partikelmessung in Reinstmedien
Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
1999Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelkontamination von Reinstgasversorgungskomponenten
Dorner, J.
Dissertation
1998Application of Laser Optical Measuring Techniques in Coating Processes
Domnick, J.
Konferenzbeitrag
1998Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '98
 
Tagungsband
1998Measuring Techniques in Cleanrooms
Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1998Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Gommel, U.
Konferenzbeitrag
1998Qualification of Products for Equipping Cleanrooms
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1997Analyse Engine
Montino, R.; Schäfer, K.; Schmelzle, D.; Suntrup, M.; Kumar, A.P.
Konferenzbeitrag
1997Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '97
 
Tagungsband
1997Meßverfahren zur Überwachung der Umgebungsluft hinsichtlich biotischer und abiotischer partikulärer Kontaminationen
Kölblin, R.
Konferenzbeitrag
1997On-Line Measurement of Powder Size and Velocity in the Water Atomization Process
Raimann, J.; Brenn, G.; Correia, J.B.; Shohoji, N.; Domnick, J.
Konferenzbeitrag
1997Partikelmeßdatenverarbeitung
Naffin, F.
Konferenzbeitrag
1997Partikelmessung in Reinstmedien
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '96
 
Tagungsband
1996Grundlagen der Streulichtpartikelmessung
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1996Optimization of Ultraclean Gas Supply Systems
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1996Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S.
Konferenzbeitrag
1996Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1995Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '95
 
Tagungsband
1995Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T.v.
Konferenzbeitrag
1995Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Konferenzbeitrag
1995An Optimized Procedure for Process Equipment and Minienvironment Specification with PWP Measurement
Klumpp, B.; Mayer, S.; Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1995Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1994Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '94
 
Tagungsband
1994Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1994IPA-Workshop - "Fertigungstechnik im Reinraum - Meßtechnisches Praktikum"
Dorner, J.; Huppert, U.; Müller, B.
Konferenzbeitrag
1994Oberflächen im Reinraum - Partikelmessung und Reinigung
Klumpp, B.
Konferenzbeitrag
1994Optimierte Durchführung von Partikelmessungen durch Steigerung des Know-hows des Meßdurchführenden
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1994Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1993Fertigungstechnik im Reinraum. Meßtechnisches Praktikum '93
 
Tagungsband
1993Grundlagen der Partikelmessung und Partikelmessung in Flüssigkeiten
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1993Partikelmessung in Luft und Abnahmemessungen von Reinräumen
Grimme, R.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1993Prüfverfahren zur Untersuchung der Partikelreinheit technischer Oberflächen
Klumpp, B.
Dissertation
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Konferenzbeitrag
1992Partikelmessung auf Oberflächen. Vielzahl von Verfahren
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Zeitschriftenaufsatz
1992Statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Datenerfassung - Monitoring
Hofer, T.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1991Grundlagen der Streulichtpartikelmeßtechnik
Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1991Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B.
Konferenzbeitrag
1991Reinraumgerechte Konstruktion und Materialien
Degenhart, E.; Geißinger, J.
Konferenzbeitrag
1990Particle measurements on technical surfaces
Warnecke, H.-J.; Klumpp, B.
Zeitschriftenaufsatz
1990Partikelmessungen in Druckgasen
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1990Proposal for the standardization of particle measurements at aedia supply components and its realization in practice
Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
1990Qualification of high purity filter cartridges for ultraclean liquid filtration
Trompler, T.
Zeitschriftenaufsatz
1990Reinraumgerechte Konstruktion von Fertigungsgeräten und -komponenten
Geißinger, J.
Konferenzbeitrag
1990Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Konferenzbeitrag
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1987Rechnergestützte Partikelmessung an Materialien in der Holzwerkstoffindustrie
Plinke, B.
Zeitschriftenaufsatz