Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008High-performance EUV multilayer optics
Kaiser, N.; Yulin, S.; Perske, M.; Feigl, T.
Konferenzbeitrag
2008Mo/Si multilayers with enhanced TiO2- and RuO2-capping layers
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Fang, M.; Chandhok, M.
Konferenzbeitrag