Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2008Silicon nitride films deposited by atmospheric pressure microwave PECVD
Dresler, B.; Roch, J.; Leupolt, B.; Dani, I.; Hopfe, V.; Heintze, M.; Möller, R.
Konferenzbeitrag
2006Atmosphärendruck-PECVD-Prozesse zur Abscheidung kohlenstoffbasierter Schichten
Dani, I.; Linaschke, D.; Hopfe, V.
Konferenzbeitrag