Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Innovative Verbindungstechnologie auf der Basis reaktiver nanoskalarer Multischichten
Dietrich, Georg; Schumacher, Axel; Freitag, Jan
Vortrag
2017Reaktive Nanoschichten - ein innovatives Fügekonzept für die AVT auf Bauteil- und Waferlevel
Dietrich, Georg; Schumacher, Axel; Freitag, Jan
Konferenzbeitrag
2016Technischer Aufbau epiretinaler Netzhautimplantate
Mokwa, Wilfried; Görtz, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2015Mikrosystem zur Brandgasdetektion nach dem Farbumschlagsprinzip
Pannek, Carolin
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter)
Dissertation
2014Generative Fertigung mit Tröpfchendosierer
Verl, Alexander; Schwarz, Oliver; Nagel, Marcel
Zeitschriftenaufsatz
2014Microsystem technology as a basis for integrated manufacturing
Schlenker, Dirk
Aufsatz in Buch
2013Galvanik in der Mikrosystemtechnik
Vogt, Holger; Heiermann, Wolfgang; Heß, Jennifer
Zeitschriftenaufsatz
2013mikroMontage
: Schlenker, Dirk (Tagungsleitung)
Tagungsband
2013PRONTO VolProd - Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung
Schlenker, Dirk
Konferenzbeitrag
2012mikroMontage
: Schlenker, Dirk (Tagungsleitung)
Tagungsband
2012Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung mikrotechnischer Produkte
Schlenker, Dirk
Konferenzbeitrag
2012Untersuchung relevanter Parameter eines Lichtbogenverfahrens für die Massenherstellung einwandiger Kohlenstoffnanoröhren
Roch, Aljoscha
Dissertation
2012Urban Retail Logistics - Handels- und Versorgungslogistik in urbanen Regionen
Lange, Volker; Kaleck, Peter
Vortrag
2011Anlagen- und Prozessentwicklung für das Niedrigtemperatur-Direktbonden mittels Atmosphärendruck-Plasmaaktivierung
Eichler, M.
Dissertation
2011Bestimmung der Messunsicherheit im Mikrometer-Bereich - Strategien, Modelle und Einflussfaktoren
Tan, Özgür; Krah, Thomas; Neuschaefer-Rube, Ulrich; Ehrig, Wiebke; Herffurth, Tobias; Schröder, Sven; Lyda, Wolfram; Eigenbrod, Hartmut; Hoffmann, R.; Weißensee, Karina; Apel, Sebastian; Pedrini, Giancarlo; Gaspar, J.; Schrader, Christian; Zschiegner, N.
Aufsatz in Buch
2011Determination of adhesive forces and sticking temperature of coated glasses for the hot-embossing-process
Worsch, C.; Edelmann, J.; Rüssel, C.; Schubert, A.
Zeitschriftenaufsatz
2011Entwicklung einer osseointegrierten biphasischen Mittelohrprothese zur Optimierung der Rehabilitation hörbehinderter Patienten (MOP)
Meichsner, Gunnar; Burkhardt, Thomas
Bericht
2011Neue multiskalige Mess-, Steuer- und Prüfstrategien für die Prüfung von Mikro- und Nanosystemen in der Produktion
Lyda, Wolfram; Burla, Avinash; Haist, Tobias; Osten, Wolfgang; Zimmermann, Jan; Sawodny, Oliver; Eigenbrod, Hartmut; Westkämper, Engelbert
Aufsatz in Buch
2010Anwenderorientierte Technikentwicklung im Pflege-Bereich: Instrumente für den Wissenstransfer zur partizipativen Gestaltung von Mikrosystemtechnik
Compagna, Diego; Derpmann, Stefan; Graf, Birgit; Hartmann, Christiane; Jacobs, Theo; Klein, Peter; Luz, Jochen; Mauz, Kathrin; Shire, Karen
Konferenzbeitrag
2010Embossing of double-sided micro lens arrays in optical glass
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2010Entwicklung und Aufbau einer Monitorstruktur für Lotkontakte bei kombinierter Belastung
Eckert, T.
Dissertation
2010Micro structuring of inorganic glass by hot embossing of coated glass wafers
Edelmann, J.; Worsch, C.; Schubert, A.; Rüssel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2009Doppelseitiges Heißprägen von Mikrolinsenarrays
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.
Aufsatz in Buch
2009Fully implantable blood pressure system: Implantation experiences
Urban, U.; Fassbender, H.; Fürst, P.; Göttsche, T.; Bender, B.; Becker, R.; Mokwa, W.; Trieu, H.-K.; Osypka, P.; Glocker, R.; Steinseifer, U.; Schmitz-Rode, T.
Konferenzbeitrag
2009Heissgeprägte Glaswafer für Mikrosystemtechnikanwendungen
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2009HYPER-IMS: A fully implantable blood pressure sensor for hypertensive patients
Gräfe, M.; Göttsche, T.; Osypka, P.; Görtz, M.; Trieu, H.-K.; Fassbender, H.; Mokwa, W.; Urban, U.; Schmitz-Rode, T.; Bender, B.; Glocker, R.; Fähnle, M.
Konferenzbeitrag
2009Isothermes Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Worsch, C.; Rüssel, C.; Edelmann, J.; Schubert, A.
Zeitschriftenaufsatz
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Edelmann, J.; Worsch, C.
Bericht
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Rüssel, C.; Edelmann, J.
Aufsatz in Buch
2009Mikrosystemtechnik
Weimert, B.
Zeitschriftenaufsatz
2009New coating strategy for hot embossing of glass
Schubert, A.; Edelmann, J.
Konferenzbeitrag
2009Prozessgeregeltes Mikrodosieren hochviskoser Klebstoffe
Wiedenhöfer, Markus
Dissertation
2009Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
Weimert, B.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.; Grüne, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Active optical structures by use of PZT thick films
Gebhardt, S.; Schönecker, A.; Bruchmann, C.; Beckert, E.; Rodrigues, C.; Bastaits, R.; Preumont, A.
Konferenzbeitrag
2008Beschichtungsstrategie für die Heißformgebung von Glas
Edelmann, J.; Schubert, A.; Rüssel, C.; Worsch, C.
Zeitschriftenaufsatz
2008CHF-Monitoring - Bewertung von zwei alternativen Implantatkonzepten
Urban, U.; Fassbender, H.; Görtz, M.; Trieu, H.-K.; Steinseifer, U.; Schmitz-Rode, T.; Schnakenberg, U.
Konferenzbeitrag
2008Flexibel automatisierte Montage von Festkörperlasern
Schmitt, R.; Pavim, A.; Brecher, C.; Pyschny, N.; Loosen, P.; Funck, M.; Dolkemeyer, J.; Morasch, V.
Zeitschriftenaufsatz
2008Fließpressen von Mikrostrukturen
Schubert, A.; Pohl, R.
Zeitschriftenaufsatz
2008Fluidische Mikroreaktionssysteme - Fertigungstechnik für Prototypen und Serien aus Kunststoffen und Gläsern
Edelmann, J.; Eckert, U.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2008Il microcosmo di un battito di palpebra
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2008Isothermes Heißprägen von beschichtetem Glas
Edelmann, J.; Worsch, C.; Rüssel, C.; Schubert, A.
Konferenzbeitrag
2008Machining of micro rotational parts by wire electrical discharge grinding
Uhlmann, E.; Piltz, S.; Oberschmidt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2008Method for the compensation of process-immanent form deviation in hot embossing of glass
Schubert, A.; Edelmann, J.
Konferenzbeitrag
2008Der Mikrokosmos eines Lidschlags
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2008Der Mikrokosmos eines Lidschlags
Klein, M.; Oberschmidt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2008Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.; Rüssel, C.
Aufsatz in Buch
2008Neues Verfahren zur Montage von Mikro-Komponenten
Sandmaier, Hermann; Sägebarth, Joachim; Boufercha, Nourdin; Schäfer, Wolfgang; Othman, Nabih; Schlenker, Dirk; Burgard, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2008Schichtstabilität und Duktilität bei der Mikrostrukturierung technischer Gläser im Heißformgebungsprozess
Fritzsch, M.
Dissertation
2008Strain sensitive films with spray-coated carbon nanotubes
Ghahremanpour, M.; Sägebarth, J.; Weis, D.G.; Kolaric, I.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
2008Trends in der Mikrosystemtechnik
Hampicke, M.; Reichl, H.; Lang, K.-D.; Schmitz, S.; Pötter, H.
Zeitschriftenaufsatz
2008Untersuchungen zu CNT-Epoxidharz-Kompositen für die Anwendung als Klebstoff in der Aufbau- und Verbindungstechnik
Heimann, M.; Böhme, B.; Wirts-Rütters, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Widely tunable micro-mechanical external-cavity diode laser emitting around 2.1 µm
Geerlings, E.; Rattunde, M.; Schmitz, J.; Kaufel, G.; Wagner, J.; Bläsi, B.; Kallweit, D.; Zappe, H.
Zeitschriftenaufsatz
2007Development of functional ceramic films for nano- and microsystems
Schönecker, A.; Gebhardt, S.; Schlenkrich, F.; Endler, I.; Meissner, F.; Michaelis, A.; Mayer-Uhma, T.; Uhlig, S.
Konferenzbeitrag
2007Die Digitale Fabrik - ein Produkt für Produkte
Westkämper, Engelbert
Zeitschriftenaufsatz
2007High temperature and element alloying influences on Kirkendall voiding in Au ball bond interconnects on Al chip metallization
Schneider-Ramelow, M.; Schuch, B.; Lang, K.-D.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
2007Inkjettable conductive adhesive for use in microelectronics and microsystems technology
Kolbe, J.; Arp, A.; Calderone, F.; Meyer, E.M.; Meyer, W.; Schäfer, H.; Stuve, M.
Zeitschriftenaufsatz
2007Mikro-Montage - Werkstücklagen einfach bestimmen
Westkämper, Engelbert; Wiedenhöfer, Markus; Koncalovic, Kristijan; Schlenker, Dirk
Zeitschriftenaufsatz
2007Mikrodispensen schafft starke Verbindungen
Schlenker, Dirk; Othman, Nabih
Zeitschriftenaufsatz
2007Multiskalige Messstrategien für Mikrosysteme
Regin, Johan; Westkämper, Engelbert; Wiesendanger, Tobias; Zimmermann, Jan
Konferenzbeitrag
2007A new concept for LTCC-based pressure sensors
Partsch, U.; Arndt, D.; Georgi, H.
Konferenzbeitrag
2007Präzise und reproduzierbar bei kürzester Dosierzeit
Othman, Nabih
Zeitschriftenaufsatz
2007Von der Makro- zur Mikrowelt
Klocke, F.; Bergs, T.; Veselovac, D.; Arntz, K.; Quito, F.J.; Kratz, S.
Zeitschriftenaufsatz
2007Werkstoffe für den Einsatz in reinen Bereichen
Westkämper, Engelbert; Smolinski, Dirk; Kreck, Guido; Gommel, Udo
Zeitschriftenaufsatz
2006Alignment techniques for the high precision assembly of hybrid microsystems
Brecher, C.; Freundt, M.; Lange, S.; Weinzierl, M.
Konferenzbeitrag
2006Arbeitspunkt-Beobachter für einen Zeit-Druck-Dosierprozess
Westkämper, E.; Wiedenhöfer, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Creating a European Micro- and NanoManufacturing Industry
Pedersen, Hans-Hartmann; Dorner, Johann; Schäfer, Wolfgang; Ratchev, Svetan; Hitendra, Hirani; Dickerhof, Markus; Almansa, Ana; Wögerer, Christian; Rempp, Helmut
Konferenzbeitrag
2006Development of passive alignment techniques for the assembly of hybrid microsystems
Brecher, C.; Weinzierl, M.; Lange, S.C.
Konferenzbeitrag
2006Großflächige Mikrostrukturierung
Brecher, C.; Schmitt, R.; Lange, S.C.; Koerfer, F.; Niehaus, F.; Widemann, R.
Zeitschriftenaufsatz
2006Microtribological behaviour of thin DLC films using different testing methods
Bandorf, R.; Lüthje, H.; Staedler, T.
Zeitschriftenaufsatz
2006Mikrodosieren - Potentiale ausgeschöpft?
Westkämper, E.; Wiedenhöfer, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Mikrokleben mit wenig Stress
Gesang, T.; Zickwolf, R.
Zeitschriftenaufsatz
2006Multiskalige Messstrategien für die Mikrosystemtechnik
Regin, J.; Neher, J.; Pannekamp, J.; Westkämper, E.; Wiesendanger, T.; Osten, W.
Konferenzbeitrag
2006Das Reinheitsgebot der Mikrotechnik
Gommel, U.
Zeitschriftenaufsatz
2006Wafer-level fabrication of microring resonators using adhesive wafer bonding
Dragoi, V.; Mittendorfer, G.; Thanner, C.; Lindner, P.; Alexe, M.; Pintilie, L.; Hamacher, M.; Heidrich, H.
Konferenzbeitrag
2005Flexible master structures made of SU-8 for double-sides moulding of PDMS
Lucas, N.; Sichler, P.; Büttgenbach, S.; Penache, C.; Bartels, V.; Klages, C.-P.
Konferenzbeitrag
2005Konzepte für die Sicherung von Festigkeit und Zuverlässigkeit von Komponenten der Siliziummikromechanik
Bagdahn, J.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2005Konzepte für praxisnahe Bildungsmodule in der Mikrosystemtechnik
Schischke, K.; Kerl, R.; Kalisch, C.
Konferenzbeitrag
2005Mikro- und Nanotechnik als wissenschaftliche Herausforderung
Westkämper, E.
Zeitschriftenaufsatz
2005Mikrodosieren leicht gemacht
Othman, N.
Zeitschriftenaufsatz
2005Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U.
Zeitschriftenaufsatz
2005Requirements engineering für die Automatisierung
Reddig, K.
Konferenzbeitrag
2005Winzige Muskeln aus "Ruß"
Kolaric, I.
Zeitschriftenaufsatz
2005Zuverlässiger Auftrag von hochviskosem Leitkleber
Othman, N.; Schlenker, D.
Zeitschriftenaufsatz
2004Kleine Technik - große Wirkung: Intelligente Miniatursysteme für die Medizintechnik
Zimmer, G.; Trieu, H.-K.
Zeitschriftenaufsatz
2004Match-X Baukastensystem für den Mittelstand
Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
2004MEMS and microsystems based on low-temperature cofired ceramics: A cost analysis
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Jäger, T.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
2004Mikro-Brennstoffzellen
Neupert, U.
Zeitschriftenaufsatz
2004Mikrosystemtechnik für den Mittelstand
: Dorner, J.
Tagungsband
2004Werkzeugmaschine 2010
Schlenker, D.
Konferenzbeitrag
2004Zielgenaue Präparation von Proben für die Transmissionselektronenmikroskopie
Altmann, F.; Katzer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2004Zur Selektivitätssteigerung von Halbleitergassensoren
Wöllenstein, Jürgen
Dissertation
2003Abformtechnologien zur Mikrostrukturierung von Glas
Schubert, A.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2003Concepts for production of low cost microsystems using reel to reel processes
Feil, M.; Bock, K.; Endres, H.-E.; Richter, M.
Konferenzbeitrag
2003Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J.
Zeitschriftenaufsatz
2003Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J.
Zeitschriftenaufsatz
2003MICRO.tec 2003: Applications - trends - visions. Proceedings
: Büttgenbach, S.; Westkämper, E.
Tagungsband
2003MikroPRO. Untersuchung zum internationalen Stand der Mikroproduktionstechnik
Hesselbach, J.; Raatz, A.; Wrege, J.; Herrmann, H.; Weule, H.; Buchholz, C.; Tritschler, H.; Knoll, M.; Elsner, J.; Klocke, F.; Weck, M.; Bodenhausen, J. von; Klitzing, A. von
Zeitschriftenaufsatz
2003Mikrosystemtechnik. Schlüsseltechnologie des 21. Jahrhunderts
Schraft, R.D.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2003Modellbasierte Steuerungsarchitektur
Bengel, M.
Zeitschriftenaufsatz
2003Ein modulares Baukastensystem für anwendungsspezifische Mikrosysteme
Schünemann, M.
Dissertation
2003Pro-micron: Auftrag und Dienstleistung einer neuen Einrichtung
Schäfer, W.; Winkler, W.
Zeitschriftenaufsatz
2003Programmable sensor signal amplifier
Vogel, U.; Knobloch, J.; Ulbricht, S.; Landwehr, M.
Konferenzbeitrag
2003Reglerbausteine auf Basis des mikrotechnischen Baukastensystems Match-X
Steck, A.; LeNagard, M.; Muckenhirn, R.
Konferenzbeitrag
2003Self-sufficient microsystems in medical applications - from sensor to data transfer
Fischer, W.-J.
Konferenzbeitrag
2002Dreidimensionale Formgebung von planaren Mikroelektroden zur Optimierung der Signalableitung und Stimulation am peripheren Nerven
Schüttler, M.
Buch
2002Laser CVD - Status und industrielles Potential für Faserbeschichtungen
Hopfe, V.
Zeitschriftenaufsatz
2002Mikrokleben in der Mikromontage
Gaugel, T.; Westkämper, E.
Zeitschriftenaufsatz
2002ProMikro 2002
: Westkämper, E.; Schraft, R.D.; Sihn, W.
Tagungsband
2002Prozessüberwachung industrieller CVD-Beschichtungsanlagen mittels NIR-DLS- und FTIR-Sensorik
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Grählert, W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Throl, O.
Konferenzbeitrag
2002Quality control of ultra-thin and super-hard coatings by laser-acoustics
Schneider, D.; Siemroth, P.; Schülke, T.; Berthold, J.; Schultrich, B.; Schneider, H.-H.; Ohr, R.; Petereit, B.; Hillgers, H.
Zeitschriftenaufsatz
2002Thermoelectric micro devices: Current state, recent developments and future aspects for technological progress and applications
Böttner, H.
Konferenzbeitrag
2001Einfluß von Bearbeitungsparametern auf die Oberflächen- und Werkstoffeigenschaften von laserbearbeiteten Mikrobauteilen
Yeh, L.-Y.
Dissertation
2001Entwicklung eines zweistufigen integrierten Sigma-Delta-Wandlers für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Thoß, S.
Diplomarbeit
2001Mechanische und tribologische Charakterisierung dünner Schichten mit Hilfe rastersondenbasierter Verfahren
Staedler, T.
Dissertation
2001Mikrostrukturierung von Glas mittels Excimerlaserstrahlung für die Mikroreaktionstechnologie
Jacquorie, M.
Dissertation
2001Die Mini-Fabrik
Neuner, M.
Zeitschriftenaufsatz
2001NIR Diode Laser Based Process Control for Industrial CVD Reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Konferenzbeitrag
2001NIR diode laser based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Sheel, D.W.; Raisbeck, D.; Rivero, J.M.; Graehlert, W.; Throl, O.; Mol, A.M.B. van; Spee, C.I.M.A.
Zeitschriftenaufsatz
2001NIR laser diode and FTIR based process control for industrial CVD reactors
Hopfe, V.; Shee, D.W.; Graehlert, W.; Throl, O.
Zeitschriftenaufsatz
2001Oberflächensensoren überwachen Werkzeugschneiden
Lüthje, H.; Nordmann, K.
Zeitschriftenaufsatz
2001Wo Nano-Roboter und Miniaturmodule regieren
Neuner, M.
Zeitschriftenaufsatz
2000Beiträge zum Entwurf und Simulation von autarken Mikrosystemen
Grätz, H.
Dissertation
2000Erfahrungen mit VHDL-AMS bei der Simulation heterogener Systeme
Haase, J.; Schwarz, P.; Trappe, P.; Vermeiren, W.
Konferenzbeitrag
2000From Modular MEMS to a Modular Microfactory - the Hybrid Microfactory?
Großer, V.; Michel, B.; Schünemann, M.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
2000In-situ FTIR spectroscopic monitoring of a CVD controlled Si-N-O fibre growth process
Vogt, U.; Vital, A.; Graehlert, W.; Leparoux, M.; Ewing, H.; Beil, A.; Daum, R.; Hopfe, V.
Zeitschriftenaufsatz
2000Match-X bietet wirtschaftliche Vorteile
Bauer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2000Mechatronische Produkte und Komponenten
Wittenstein, M.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
2000Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?
Bierhals, R.; Cuhls, K.; Hüntrup, V.; Schünemann, M.; Thies, U.; Weule, H.
Buch
2000Miniaturisierung und Mikrosystemtechnik
Westkämper, E.
Zeitschriftenaufsatz
2000A peep into a different world
Dilthey, U.; Brandenburg, A.; Weck, M.; Petersen, B.
Zeitschriftenaufsatz
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
2000Übersicht, Ziele und Ergebnisse des Projektes "Mikrosysteme für Diagnose, Steuerungen und Regler"
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1999The Economic Potential of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Zeitschriftenaufsatz
1999Economic Potentials of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Zeitschriftenaufsatz
1999Herstellung miniaturisierter Bauteile
Dorner, J.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
1999Laser knacken winzige Schmutzpartikel
Neuner, M.
Zeitschriftenaufsatz
1999Mikrosystemtechnische Bauelemente als Basis für neue Applikationen
Gottfried-Gottfried, R.
Konferenzbeitrag
1999Modellierung und Simulation von Mikrorelais
Schneider, P.; Schäfer, E.
Konferenzbeitrag
1999Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
1999MST 2000+
: Ehret, P.; Pelka, J.; Reichl, H.
Buch
1999Neuronale Netze in mechatronischen Systemen - ein Ansatz für die Modellierung und Simulation
Schneider, P.; Müller, M.; Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
1999Offenes Softwarekonzept für ein modulares Fertigungssystem
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
1999Projekt Zukunft
: Warnecke, H.-J.
Buch
1999Prozess 2000 - Modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Weinmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
1999Sensor systems: interface between environment and application
Hammerschmidt, D.
Konferenzbeitrag
1999Simulation komplexer Systeme unter Einbeziehung neuronaler Netze
Schneider, P.; Schwarz, P.; Huck, E.; Arnold, G.; Fraikin, J.; Zdun, P.
Konferenzbeitrag
1999Simulationsgestützte Strukturoptimierung mit MOSCITO - Einsatz von ANSYS in einem modularen Optimierungssystem
Schneider, P.; Parodat, S.
Konferenzbeitrag
1999Standardisierungslösungen für ein modulares Fertigungssystem in der Mikrotechnik
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A.
Zeitschriftenaufsatz
1999Systemtechnik in der Gassensorik am Beispiel von CO2-Mikrosensoren: Transducer, Kapselung und Temperaturmodulation
Roth, M.
Dissertation
1999Verteilte, simulationsbasierte Optimierung mit Moscito
Schneider, A.; Parodat, S.; Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
1999Vorwort zum Kongressband MicroEngineering '99
Westkämper, E.
Konferenzbeitrag
1999Werkstofftrends: Mikrostrukturtechnologien
Kohlhoff, J.; Kretschmer, T.
Zeitschriftenaufsatz
1999Wirtschaftliche Potentiale der Miniaturisierung
Weule, H.; Hüntrup, V.; Thies, U.; Schünemann, M.; Bierhals, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Aufstieg in eine höhere Liga. Optik und Feinmechanik zunehmend als Schlüsselelemente
Hambücker, S.
Zeitschriftenaufsatz
1998Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Konferenzbeitrag
1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1998Hardware implementation of fuzzy systems
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1998Intelligente Werkzeuge mit integrierten sensorischen Netzwerken
Lüthje, H.
Zeitschriftenaufsatz
1998Konzept und Entwicklung einer flexiblen Elektrode zur multi-interfaszikulären Ableitung von Elektroneurogrammen und zur Stimulation an peripheren Nerven
Stieglitz, T.
Dissertation
1998Microanalytical system for water control
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.
Konferenzbeitrag
1998Microsystem for flow injection analysis for environmental control
Wörmann, W.; Drost, S.; Linnemann, R.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Edler, B.; Kranz, C.; Meixner, L.; Ferretti, R.
Konferenzbeitrag
1998Mikroelektronische Umsetzung von Fuzzy-Systemen
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1998Mikroproduktionstechnik im Großkammer-Rasterelektronenmikroskop
Hümmler, J.
Dissertation
1998Mikroskopische Techniken zur Materialanalys
Meyendorf, N.; Altpeter, I.; Fassbender, S.; Reiter, H.; Netzelmann, U.
Konferenzbeitrag
1998Mikrosystemtechnik - Werkzeugsystem für die Montage
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1998Modellierung und experimentelle Charakterisierung von Mikrofluidsystemen und deren Komponenten
Richter, M.
Dissertation
1998Neue Anwendungen des Lasers in Elektrotechnik und Mikrotechnik
Gillner, A.
Konferenzbeitrag
1998Offenes Softwarekonzept für Produktionssysteme in der Mikrotechnik
Hägele, K.-D.; Bader, U.
Konferenzbeitrag
1998On-chip microsystems for medical applications
Mokwa, W.; Schnakenberg, U.
Konferenzbeitrag
1998Präzision in der Mikrowelt. Fertigung und Montage kleinster Bauteile
Fischer, S.; Petersen, B.
Zeitschriftenaufsatz
1998Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998Revolution im Mikrokosmos. Mikrosystemtechnik als Wegbereiter innovativer Produkte
Hümmler, J.
Zeitschriftenaufsatz
1998Silicon microsystems: merging sensors, circuits and systems
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1997Adaptive Fuzzy-Mikrosysteme
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1997AHDL-model of a 2D mechanical finite-element usable for micro-electro-mechanical systems
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1997Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U.
Konferenzbeitrag
1997Design of a Microarray Production Line
Eichenlaub, U.; Schmid, S.; Lindner, H.
Konferenzbeitrag
1997Electrical network formulations of mechanical finite-element models
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1997Fertigungstechnologien fehlen noch
Schäfer, W.; Fischer, G.; Vögele, G.; Weisener, T.
Zeitschriftenaufsatz
1997Greifersysteme für die Montage kleinster Bauteile
Fischer, G.; Wagner, T.; Ruck, K.
Zeitschriftenaufsatz
1997Klassifizierung der Bauteile der Mikrosystemtechnik
Eberhardt, R.; Mohaupt, M.
Aufsatz in Buch
1997Microanalytical system with integrated chemical and biochemical sensors for environmental control
Roß, B.; Chemnitius, G.; Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Köster, O.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.; Konz, W.
Konferenzbeitrag
1997Microsystem for flow injection analysis for environmental control
Drost, S.; Wörmann, W.; Woias, P.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Edler, B.; Kranz, C.; Meixner, L.; Ferretti, R.
Konferenzbeitrag
1997Silicon sensor systems
Hosticka, B.J.; Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.
Zeitschriftenaufsatz
1997Simulation analoger elektromechanischer Mikrosysteme und des Verhaltens von elektrothermischen Bauelementen unter Verwendung eines automatisch generierten vereinheitlichten Modells
Bielefeld, J.
Dissertation
1997Water control with a microanalytical system
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L.
Konferenzbeitrag
19963. Workshop Methoden und Werkzeuge zum Entwurf von Mikrosystemen mit dem Schwerpunkt Methoden zum Entwurf, zur Integration und Parametrisierung von Komponenten für applikationsspezifische integrierte Mikrosysteme 1996. Tagungsband
: Glesner, M.; John, W.
Tagungsband
1996Bitte nicht berühren: Greifen mit Flüssigkeiten in der Mikrotechnik
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Zeitschriftenaufsatz
1996Chancen des Maschinenbaus durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Konferenzbeitrag
1996Einheitliche Modellschnittstelle für Verhaltensmodelle im Verbundprojekt MIMOSYS
Clauß, C.; Haase, J.; Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
1996Entwicklung schneller integrierter thermischer Strömungssensoren in Siliziumtechnologie für Flüssigkeit und Gase
Kersjes, R.A.
Dissertation
1996Entwicklungen in der Mikrosystemtechnik und ihre Anwendbarkeit in der Produktionsautomatisierung
Fischer, W.-J.; Hermann, R.
Konferenzbeitrag
1996Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Gerotor im Mini-Format
Vögele, G.; Bark, C.; Weisener, T.; Widmann, M.
Zeitschriftenaufsatz
1996Greifen mit Flüssigkeiten
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Zeitschriftenaufsatz
1996Halbautomat zur Montage von miniaturisierten optischen Systemen
Schlenker, D.; Grimme, R.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Hochdruck-Fluidbearbeitung
Henning, A.
Konferenzbeitrag
1996Innovationen im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Konferenzbeitrag
1996Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Schäfer, W.; Schließer, J.; Gehringer, H.
Konferenzbeitrag
1996Inspektionsmodul zur Prüfung optischer Bauteile
Stock, A.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Dettmann, H.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Das intelligente Werkzeug
Zamel, S.
Zeitschriftenaufsatz
1996Kleben mit kleinsten Klebstoffmengen
Hartwig, A.; Döring, M.; Hennemann, O.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1996Kopplung der Simulatoren ITI-SIM und KOSIM für die Simulation in der Mikrosystemtechnik und der Mechatronik
Blochwitz, T.; Neidhold, T.; Uhlig, A.; Clauß, C.; Matz, K.; Schwarz, P.; Winkler, F.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag
1996Methoden und Werkzeuge zur Simulation von Mikrosystemen
Schwarz, P.; Eccardt, P.-C.; Schulte, S.; Paap, K.-L.; Gutzmann, M.
Konferenzbeitrag
1996Mikrobearbeitung mit dem Funkenerosionsverfahren am Beispiel einer Zahnradpumpe
Weisener, T.; Braunschweiler, A.
Konferenzbeitrag
1996Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
 
Tagungsband
1996Minis mit großer Leistung
Weisener, T.; Bark, C.; Vögele, G.; Widmann, M.
Zeitschriftenaufsatz
1996Ein Modellierungsansatz zur Einbeziehung mechanischer Mikrosystemkomponenten in die Systemsimulation
Wünsche, S.; Schwarz, P.; Becker, U.; Neul, R.
Konferenzbeitrag
1996Neue Werkstoffe in der Produktion - Wirkungsweise von Formgedächtnislegierungen, Berechnung und Einsatzbeispiele
Weisener, T.
Aufsatz in Buch
1996New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Optimierung eines on-chip Fuzzy-Temperaturreglers
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1996Optimization of an on-chip fuzzy temperature controller
Knobloch, J.; Presberger, T.
Konferenzbeitrag
1996Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik
Gramann, U.; Kaufmann, T.S.
Konferenzbeitrag
1996Signalverarbeitung für chemische Sensoren mit neuronalen Netzen
Endres, H.-E.; Leidl, A.; Drost, S.
Konferenzbeitrag
1996Simulation in der Mikrosystemtechnik mit KOSIM
Clauß, C.; Donath, U.; Haase, J.; Haufe, J.; Kurth, G.; Leitner, T.; Schneider, A.; Schwarz, P.; Trappe, P.; Winkler, F.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag
1996Untersuchung einer CMOS-Technologie auf SIMOX-Substraten für Anwendungen in der Hochtemperaturelektronik
Werner, R.
Dissertation
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Visionsystem zur Qualitätssicherung in der Fertigung von Mikro/Millimeterwellenkomponenten
Gramann, U.
Konferenzbeitrag
1995Analog hardware description language for modeling and simulation of microsystems and mechatronics
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995Aufholbedarf beim Mittelstand
Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1995Chemomechanische Aktoren
Schünemann, M.; Wurmus, H.
Aufsatz in Buch
1995Comparison of electrical device representations of physical differential equations
Bielefeld, J.; Pelz, G.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V.
Konferenzbeitrag
1995Durchgängige Simulation von Prozessen und Strukturen der Mikrosystemtechnik
Stephan, R.; Kunze, D.; Erlebach, A.; Richter, F.; Todt, U.
Konferenzbeitrag
1995Electro-mechanical coupling in microsystems - utilization and failure reason
Schönecker, Andreas; Gesemann, H.-J.; Weihnacht, M.
Konferenzbeitrag
1995Entwicklung und Charakterisierung von CMOS-kompatiblen Transducern zur Realisierung von Mikrosystemen aus dem Bereich der Chemo- und Biosensorik
Rospert, M.
Dissertation
1995Erfahrungen mit einer Modellierungsstrategie für die Systemsimulation in der Mikrosystemtechnik
Haase, J.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag
1995Innovative Entwicklungen in der Galvanotechnik
Leyendecker, F.
Konferenzbeitrag
1995Lasergestützte Aufbau- und Verbindungsverfahren in der Mikrosystemtechnik
Kreutz, E.W.; Gillner, A.
Konferenzbeitrag
1995Machbarkeitsstudie zum Einsatz von Diodenlasern zur Abgasreinigung
Lang, J.E.
Diplomarbeit
1995Ein Mikroelektronik-System für fluide Messungen in Blutgefäßen
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Aufsatz in Buch
1995Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
 
Tagungsband
1995Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für die Gegenwart
Warnecke, H.-J.
Aufsatz in Buch
1995Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1995Model transformation for coupled electro-mechanical simulation in an electronics simulator
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1995Perspektiven energieautarker Mikrosysteme
Bollerott, M.
Konferenzbeitrag
1995Das Projekt ADAM
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1995Rationalisierung von Entwurf und Realisierung für die Mikrosystemintegration
Oberst, E.; Scherer, K.; Nauber, P.; Winkler, J.; VomBögel, G.
Buch
1995Silicon microsystems for mechatronic applications
Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1995Simulating micro-electromechanical systems
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zappe, F.-J.; Zimmer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1995Simulation mikrosystemtechnischer Aufgaben mit gekoppelten Simulatoren
Clauß, C.; Gruschwitz, R.; Schwarz, P.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag
1995Strategien zur Modellierung und Simulation in der Mikrosystemtechnik
Wünsche, S.; Schneider, P.
Konferenzbeitrag
1995Systemkonzepte mikrosystemtechnischer Aufgabenstellungen
Gerber, J.; Hauer, H.
Konferenzbeitrag
1995Unterstützung des Mikrosystementwurfs durch Simulatorkopplung
Clauß, C.; Eccardt, P.-C.; Priem, X.; Wünsche, S.
Konferenzbeitrag
1995Zukunftstechnologie des 21. Jahrhunderts, Mikrosystemtechnik
Fischer, W.-J.
Zeitschriftenaufsatz
19941.2 Volt CMOS readout electronics for capacitive sensors
Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Dudaicevs, H.; Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1994Advantages and potential of SOI structures for smart sensors
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1994Automatischer Abgleichalgorithmus für integrierte CMOS-Drucksensoren mit on-chip Programmierung.
Schlichting, V.; Lossy, R.; Graf, N.; Obermeier, E.; Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1994Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
1994Bruchmechanische Analysen an MEMS-Strukturen
Erlebach, A.
Konferenzbeitrag
1994Chipentwurf für ein Fuzzy-Mikrosystem zur Gasklassifikation
Koch, M.; Jeroch, W.
Konferenzbeitrag
1994Energieautarke Mikrosysteme im Aufwind
Fischer, W.-J.; Gründler, R.; Bollerott, M.
Zeitschriftenaufsatz
1994Fügetechniken im Vergleich
Groß, A.; Bischoff, J.; Hartwig, A.; Hennemann, O.-D.; Krüger, G.
Zeitschriftenaufsatz
1994A fully CMOS-compatible infrared sensor fabricated on SIMOX substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, Ralf; Kück, Heinz; Mokwa, Wilfried
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1994Meßdatenerfassung hält Atemluft sauber
Hartinger, R.; Göttler, W.; Endres, H.-E.
Zeitschriftenaufsatz
1994MEXEL: Simulation of microsystems in a circuit simulator using automatic electromechanical modeling.
Pelz, G.; Bielefeld, J.; Zappe, F.-J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1994Mikrobaugruppen mechanisch prüfen
Michel, B.; Großer, V.
Zeitschriftenaufsatz
1994Mikroelektronik, eine Schlüsseltechnologie im Umweltschutz
Angerer, G.
Aufsatz in Buch
1994Moderne Mikrosysteme für die Dosimetrie und den Strahlenschutz
Streil, Thomas; Klinke, Roland; Erlebach, Axel; Kück, Heinz; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1994Ein monolithisch integriertes CMOS-Drucksensorsystem mit Temperaturkompensation und On-Chip gespeicherten Kalibrationsdaten
Hammerschmidt, D.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Schlichting, V.; Obermeier, E.
Konferenzbeitrag
1994Monolithische Integration von Magnetfeld-Sensorelementen und Auswerteschaltungen in CMOS-Technologie
Gottfried-Gottfried, R.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1994Monolithisches Magnetfeldsensorsystem mit Spinning Current Hallsensor
Gottfried-Gottfried, R.; Budde, W.; Hörning, T.
Konferenzbeitrag
1994Neue Impulse für Medizin und Umwelttechnik
Höch, A.; Rospert, M.
Zeitschriftenaufsatz
1994On-chip fuzzy temperature control
Knobloch, J.; Koch, M.
Konferenzbeitrag
1994Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G.
Konferenzbeitrag
1994Potential of mixed analog/digital signal processing for silicon microsystems.
Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1994Potentiale nutzen, Hemmschwellen abbauen
Melchior, K.
Zeitschriftenaufsatz
1994Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Zeitschriftenaufsatz
1994Systementwurf eines Bronchitissensors
Prengel, H.
Diplomarbeit
1994Temperaturkompensation von Sensorsystemen durch CMOS-Schaltungen
Hammerschmidt, D.; Sprotte, A.; Schnatz, F.V.; Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Dura, H.-G.; Dudaicevs, H.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1994Trends in the Industrial Production of MST
Dorner, J.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1994Verbundsubstrat für elektrisch-optische Hybridschaltungen
Buß, W.
Konferenzbeitrag
1993Berechnung komplexer Halbleiter elektronischer Strukturen unter Nutzung von ANSYS-Resultaten in der mehrdimensionalen Devicesimulation
Erlebach, A.; Kunze, D.; Richter, F.; Stephan, R.; Gajewski, H.
Konferenzbeitrag
1993A CMOS piezoresistive pressure sensor with on-chip programming and calibration
Brockherde, W.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.
Konferenzbeitrag
1993CMOS-kompatibler kapazitiver Siliziumdrucksensor in Oberflächenmikromechanik
Kandler, M.
Dissertation
1993Digital programmable pressure sensor with on-chip CMOS signal processing and data storage
Schlichting, V.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.; Obermeier, E.; Pollak-Diener, G.; Schnatz, F.V.
Konferenzbeitrag
1993Fabrication of sensors and microsystems on SIMOX substrates
Gottfried-Gottfried, R.; Köhler, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993Forschung und Entwicklung auf dem Gebiet der Funktionskeramik im IKTS Dresden
Schönecker, A.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Tagungsband
1993A fully CMOS compatible infrared sensor fabricated on SIMOX-substrates
Müller, M.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1993Fuzzy-Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1993Fuzzy-Anwendungen in der Mikrosystemtechnik
Knobloch, J.
Konferenzbeitrag
1993Fuzzy-Klassifikation von Gassensorsignalen. Algorithmus und Entwurf
Wilde, A.
Diplomarbeit
1993Fuzzy-Logik für Chip-Sensoren
Knobloch, J.
Zeitschriftenaufsatz
1993Intelligente Sensoren auf dem Weg zum ASIC
Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz
1993Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1993Klebverbindungen in der optischen Meßtechnik
Schäfer, H.
Zeitschriftenaufsatz
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1993New alpha radiation detection systems for environmental surveys.
Streil, T.; Klinke, R.; Erlebach, A.; Hübler, P.; Kluge, W.; Kück, H.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1993A new microstructured silicon substrate for ultrathin gas-sensitive films
Schütze, A.; Weber, U.; Zacheja, J.; Kohl, D.; Mokwa, W.; Rospert, M.; Werno, J.
Konferenzbeitrag
1993The opportunities to combine electronic functions at high temperature
Burbach, G.
Konferenzbeitrag
1993Reduction of heat loss of silicon membranes by the use of trench etching techniques
Werno, J.; Mokwa, W.; Vogt, H.; Kersjes, R.A.
Konferenzbeitrag
1993Silizium-Mikrosysteme für medizinische Anwendungen
Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1993Ein thermoelektrischer Infrarotsensor als Beispiel für den Einsatz von SIMOX-Substraten für die Herstellung von Sensoren und Mikrosystemen
Müller, M.; Köhler, R.; Gottfried-Gottfried, R.; Kück, H.; Mokwa, W.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
1993Umgang mit atomar kleinen Strukturen. Mikrosysteme erfordern eine Revolution der Produktionstechnik
Schweizer, M.; Weisener, T.; Vögele, G.
Zeitschriftenaufsatz
1993Verbindung und Montage - Schlüsselprobleme der Mikrosystemtechnik. Modularer Aufbau wird langfristig bleiben
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C.
Zeitschriftenaufsatz
1992Circuit and system design for silicon microsensors
Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1992Einsatz von ANSYS beim Entwurf von Sensoren in der Mikrosystemtechnik
Erlebach, A.; Kunze, D.; Müller, M.
Konferenzbeitrag
1992Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
1992Integrated sensor electronics, the link between sensor and system
Brockherde, W.; Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1992Integrierte Sensorelektronik für Mikrosystem-Anwendungen
Brockherde, W.; Hosticka, B.J.; Klinke, R.; Schnatz, F.V.
Konferenzbeitrag
1992Klebsysteme für die integrierte Optik optimieren
Schäfer, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Meßdatenerfassung für chemische Sensorsysteme.
Endres, H.-E.; Hartl, J.
Zeitschriftenaufsatz
1992Mikrosensoren beweisen Stärke. Die neuesten Trends in der Mikrosystemtechnik
Mokwa, W.
Zeitschriftenaufsatz
1992Optimieren von Klebsystemen für die integrierte Optik
Schäfer, H.
Konferenzbeitrag
1992Optimierung von integrierten Fuzzy-Schaltungen
Jeroch, W.; Knobloch, J.; Koch, M.
Konferenzbeitrag
1991Application of the silicon technology for microsystems in the medical techniques
Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1991Aufbau- und Verbindungstechniken für Mikrosysteme
Feil, M.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1991Der intelligente Herzkatheter. Sensoren und Signalvorverarbeitung auf einem Chip
Manoli, Y.; Mokwa, W.
Zeitschriftenaufsatz
1991Systemtechnik für Chemosensoren
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.
Zeitschriftenaufsatz
1991Systemtechnik für Chemosensoren.
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H.
Zeitschriftenaufsatz
1990Einsatz von ASICs in Mikrosystemen
Hagelauer, R.
Konferenzbeitrag
1990An electrodynamic injection pump - a novel actuator for microsystem technology
Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme
Richter, A.
Konferenzbeitrag