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| 2019 | Methode für den Vorhalt von inhomogenen Schwindungen im Entwurfsprozess von LTCC-Mikrosystemen
Lenz, Christian; Strach, Nicole; Ziesche, Steffen; Partsch, Uwe; Michaelis, Alexander | Konferenzbeitrag |
| 2018 | Selektivitätssteigerung von Gassensoren durch symmetrisch dichte Polymere und aktiv beheizte Filter
Graunke, Thorsten
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter) | Dissertation |
| 2015 | Mikrosystem zur Brandgasdetektion nach dem Farbumschlagsprinzip
Pannek, Carolin
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Urban, Gerald (Zweitgutachter) | Dissertation |
| 2014 | A generative manufacturing-based concept and equipment for flexible, scalable manufacturing of microsystems
Dickerhof, Markus; Kimmig, Daniel; Adamietz, Raphael; Iseringhausen, Tobias; Segal, Joel; Vladov, Nikola; Pfleging, Wilhelm; Torge, Maika | Konferenzbeitrag |
| 2013 | Funktionale 3D-Strukturierung von Keramiken zur Herstellung sensorischer Mikrosysteme
Ziesche, Steffen; Lenz, Christian; Lohrberg, Carolin | Konferenzbeitrag |
| 2013 | Integrated piezoelectrics for smart microsystems - a teamwork of substrate and piezo
Gebhardt, S.; Ernst, D.; Bramlage, B.; Flössel, M.; Schönecker, A. | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Modulare Produktionstechnik für die wirtschaftliche Serienfertigung mikrotechnischer Produkte
Schlenker, Dirk | Konferenzbeitrag |
| 2010 | ActiveClamp innovatives Spannsystem für Mikro- und Präzisionsbauteile
Uhlmann, E.; Löwenstein, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | C-VIS: Interoperative Tumorerkennung mit Hilfe von Nanopartikeln
Weber, Achim; Herz, Marion; Hirth, Thomas; Tovar, Günter E.M.; Stallkamp, Jan; Kaltenbacher, Dominik | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Implants for epiretinal stimulation of retinitis pigmentosa patients
Trieu, H.-K.; Görtz, M.; Koch, C.; Mokwa, W.; Walter, P. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Innovations- und Technikanalyse Autonomer Verteilter Mikrosysteme
Schischke, K.; Beucker, S.; Clausen, J.; Niedermayer, M. | Bericht |
| 2009 | Strategic Research Agenda 2009
: Hossain, N. | Bericht |
| 2008 | MINAM - micro and nano manufacturing at European level
Schäfer, Wolfgang; Zimmer, Klaus; Burke, Theresa; Reinhardt, Andrea | Aufsatz in Buch |
| 2007 | Development of micro-integrated sensors and actuators based on PZT thick films
Gebhardt, S.E.; Rödig, T.; Partsch, U.; Schönecker, A.J. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Die Digitale Fabrik - ein Produkt für Produkte
Westkämper, Engelbert | Editorial |
| 2007 | Extrusion of copper based MIM-feedstocks for miniature heat pipes
Aumund-Kopp, C.; Petzoldt, F.; Schlitt, R. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Mikrotribologische Untersuchungen dünner Schichten unter Anwendung rastersondenbasierter Verfahren
Küster, R. | Dissertation |
| 2006 | Multiskalige Mess- und Prüfstrategien in der Mikro- und Nanomesstechnik
Westkämper, E.; Osten, W.; Regin, J.; Wiesendanger, T. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micro structuring of metallic moulds and surfaces with a Q-switched thin disc laser
Hollemann, G.; Schubert, A.; Koriath, H.-J. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Mikro- und Nanotechnik als wissenschaftliche Herausforderung
Westkämper, E. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Mikrodosieren leicht gemacht
Othman, N. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2005 | Mikrosysteme vor der Markteinführung - Bedeutung der Betriebsfestigkeit
Hanselka, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Modular micro reaction system including ceramic components
Moritz, T.; Lenk, R.; Adler, J.; Zins, M. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Neue multiskalige Mess- und Prüfstrategien für die Produktion von Mikrosystemen
Wiesendanger, T.; Osten, W.; Pannekamp, J.; Regin, J.; Westkämper, E. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Reinraumtaugliche Werkstoffe
Gommel, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Development of tolerances for microsystems on the example of plasma deposited surfaces
Westkämper, E.; Schöbel, J.; Gottwald, B.; Sommadossi, S.-A. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | MEMS and microsystems based on low-temperature cofired ceramics: A cost analysis
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Jäger, T.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2004 | Microcontroller modules for the modular MEMS framework MATCH-X
Steck, A.; Muckenhirn, R.; LeNagard, M. | Aufsatz in Buch |
| 2004 | Strength and reliability properties of glass frit bondet micro packages
Glien, K.; Graf, J.; Müller-Fiedler, R.; Höfer, H.; Ebert, M.; Bagdahn, J. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Industrial manufacturing of microsystems
Westkämper, E. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Kostengünstige Produktion von Anlagen zur Fertigung von Mikrosystemen
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Schließer, J.; Seidelmann, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Modellbasierte Steuerungsarchitektur
Bengel, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Ein modulares Baukastensystem für anwendungsspezifische Mikrosysteme
Schünemann, M. | Dissertation |
| 2003 | Systemzuverlässigkeit sicherheitskritischer Mikropositioniersysteme
Hanselka, H.; Bein, T.; Melz, T. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Untersuchungen im Rahmen einer Konzeption und Entwicklung eines neuen biohybriden Mikrosystems für den Einsatz im pharmazeutischen »Screening«
Thielecke, H. | Dissertation |
| 2002 | Autarke Mikrosysteme in der Medizintechnik
Fischer, W.-J.; Grätz, H. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Kostengünstige Produktion von Mikrosystemen
Bader, U.; Höhn, M.; Burger, V.; Hügler, K.; Müller, T.; Bihr, J.; Suntrup, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2002 | Match-X, das Baukastensystem für spezifische Mikrosysteme in Labor und Industrie
Lenz, T.; Schüle, A. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2001 | Sensorsysteme im CMOS Prozess
Brockherde, W. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A. | Dissertation |
| 2000 | Chip design of a fuzzy controller used in micropumps and -valves
Jeroch, W. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Chipentwurf eines Fuzzy-Reglers für den Einsatz mit Mikropumpen und -ventilen
Jeroch, W. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Einsatz kryptographischer Algorithmen in der Mikrosystemtechnik und Mikroelektronik bei Betrachtung getakteter und selbstsynchronisierender Schaltungstechnik
Heinig, A. | Dissertation |
| 2000 | A Fabrication Framework for Modular Microsystems
Großer, V.; Reichl, H.; Kergel, H.; Schünemann, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Gulliver - Forschung für die Produktion von morgen
: Schäfer, W.; Stock, A. | Bericht |
| 2000 | Mehrwert durch High-Tech. Logistikperspektiven
Bandow, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Mehrwertdienste in der Logistik
Bandow, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Mikrosystemtechnik - Wann kommt der Marktdurchbruch?
Bierhals, R.; Cuhls, K.; Hüntrup, V.; Schünemann, M.; Thies, U.; Weule, H. | Buch |
| 2000 | Produktionstechnik für Mikrosysteme auf Basis standardisierter modularer Fertigungs-Plattformen
: Bader, U.; Hügler, K.; Rau, B.; Simon, A.; Straka, J. | Bericht |
| 2000 | Sensorprozessor für Transponderanwendungen in energieautarken Systemen
Grätz, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Irion, K.-M.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schäfer, W.; Rothmaier, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Economic Potentials of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | FEM-basierte Generierung von Verhaltensmodellen
Haase, J.; Reitz, S.; Schwarz, P. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Flexibles Montagesystem für die Feinwerk- und Mikrotechnik
Bauer, G.; Schlenker, D.; Stock, A.; Schünemann, M.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Herstellung miniaturisierter Bauteile
Dorner, J.; Schünemann, M. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Intelligente Informationsverarbeitung in Mikrosystemen
Presberger, T. | Dissertation |
| 1999 | Kennzeichnung und Identifikation von Mikrosystemen
Matuscheck, P.; Stock, A.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Mechanische Schnittstellen des modularen Baukastensystems für Mikrosysteme
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schäfer, W.; Krause, W.; Gerstenberger, R.; Schulze, L.-P.; Mokronowski, J. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Modellbasierte Optimierung mit mathematischen Methoden - ein Vergleich von klassischen und evolutionären Verfahren
Parodat, S.; Gorges-Schleuter, M.; Jakob, W.; Peters, D. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Ein modulares Optimierungssystem für den Mikrosystem- und Schaltungsentwurf
Schwarz, P.; Parodat, S.; Schneider, A. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Offenes Softwarekonzept für ein modulares Fertigungssystem
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.; Weinmann, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Per Mausklick zum Sensor
Voßkämper, L.; Pelz, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Automatisierte Produktion von Mikrosystemen
Hügler, K.; Bader, U. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Design and Application of Modular Microsystems
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Zoeppig, V. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K. | Dissertation |
| 1998 | Industrieller Einsatz von Verbindungstechniken für Mikro- und Millimeterwellenkomponenten
Carraß, A.; Jeremias, M.; Vonderhagen, H.; Nienhaus, M.; Gramann, U.; Schäfer, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Lokale Reinigungsverfahren
Grimme, R.; Rochowicz, M.; Werner, D.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Mikrosystemtechnik - Werkzeugsystem für die Montage
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | Modulare Mikrosysteme aus dem Baukasten
Großer, V.; Schünemann, M.; Amiri Jam, K.; Leutenbauer, R. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Modulare Mikrosysteme für kleine und mittlere Stückzahlen
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Großer, V.; Leutenbauer, R. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Modularization of Microsystems and Standardization of Interfaces
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Reichl, H. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Produktionskonzepte für die Mikrotechnik
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Bauer, G.; Grimme, R.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998
| Tagungsband |
| 1998 | Spanende Mikrobearbeitung für die Mikrooptik
Gebhardt, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Adhesive Gripping with low viscosity liquids
Bark, C.; Binnenböse, T.; Vögele, G.; Weisener, T.; Widmann, M. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Advances in Micro-Assembly
Schraft, R.D.; Schweizer, M.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Automatisierte Montage und Justage von Mikrokomponenten
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schlenker, D.; Stock, A.; Irion, K.-M.; Schmutz, W. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Design of a Microarray Production Line
Dobler, H.; Schmid, S.; Lindner, H.; Eichenlaub, U. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Design of a Microarray Production Line
Eichenlaub, U.; Schmid, S.; Lindner, H. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Industrialisierung der Fertigungstechnik für Mikrosysteme
Westkämper, E.; Schünemann, M.; Schlenker, D.; Grimme, R.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Multi sensor controller with CAN field bus interface
Rietz, S.; Fischer, W.-J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Realisierung von monolithisch integrierten Mikrosystemen
Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Smart card for detection of alpha radiation
Grätz, H.; Fischer, W.-J.; Marschner, U.; Streil, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1996 | Adhesive Gripper - a new approach to handling MEMS
Westkämper, E.; Schraft, R.D.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Advances in Micro-Assembly
Schraft, R.D.; Schweizer, M.; Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Bedeutung der Mikrostrukturtechnik - Perspektiven für Laseranwendungen
Warnecke, H.-J.; Gillner, A. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Bildverarbeitendes Mikrosystem überwacht Werkzeugverschleiß
Schulz, G.; Hermann, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Bitte nicht berühren: Greifen mit Flüssigkeiten in der Mikrotechnik
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1996 | Chancen des Maschinenbaus durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Entwicklung eines ASIC für die Multi-Sensor-Signalverarbeitung mit integriertem CAN-Bus-Interface
Rietz, S.; Köhler, C.; Schneider, B.; Heinig, A.; Bender, S.; Grätz, H.; Fischer, W.-J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Entwicklungstrends in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Grimme, R.; Schünemann, M.; Großer, V.; Reichl, H.; Schäfer, W.; Schwaab, G. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schwaab, G.; Kaufmann, T.S.; Bader, U.; Schlenker, D.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fuzzy-Mikrosysteme in der Sensorik
Knobloch, J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Greifen mit Flüssigkeiten
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1996 | Innovationen im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schäfer, W.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Gehringer, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Innovationspotentiale im Maschinenbau durch die Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Schäfer, W.; Schließer, J.; Gehringer, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
| Tagungsband |
| 1996 | Ein Mikrosystem zur kontaktlosen Temperaturmessung
Gäbler, U.; Dachselt, F.; Fischer, W.-J.; Holland, H.-J.; Müller, M. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | New Cleanroom and Cleanliness Concepts for Microsystem Production
Dorner, J.; Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Nutzeroberfläche für die FEM-Analyse von mikromechanischen Systemen am Beispiel mikromechanischer Spiegel
Kunze, D.; Erlebach, A.; Gehner, A.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Produktionstechnik für Mikrosysteme
| Tagungsband |
| 1996 | Qualitätssicherungsaspekte im arbeitsteiligen Fertigungsprozeß der Mikrosystemtechnik
Gramann, U.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Reinigung von Mikrosystemen und Mikrokomponenten
Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Sensoren, Aktoren auf der Basis eines Sol- Gel - Moduls
Otschik, P.; Kluge, A.; Grimme, R.; Schönecker, A.; Schumacher, A.; Gesemann, H.J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Smart card for detection of alpha radiation
Grätz, H.; Fischer, W.-J.; Marschner, U.; Streil, T. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Spanende Mikrofertigung
Westkämper, E.; Hoffmeister, H.-W.; Gäbler, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1996 | A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Eine vielseitige Spray-Spin-Anlage
Kluge, A.; Grimme, R. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Visionsystem zur Qualitätssicherung in der Fertigung von Mikro/Millimeterwellenkomponenten
Gramann, U. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | ASICs in Mikrosystemen. Beispiele aus dem bayerischen Forschungsverbund FORMIKROSYS
Weber, N.; Baureis, P.; Schlag, U. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Aufholbedarf beim Mittelstand
Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Beschreibungsmittel für komplexe Systeme
Schneider, P.; Schwarz, P.; Wünsche, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | CAN core for integrated microsystems
Köhler, C.; Haase, T.; Fischer, W.-J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | Chemomechanische Aktoren
Schünemann, M.; Wurmus, H. | Aufsatz in Buch |
| 1995 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Einheitlicher Ansatz zur Verhaltensbeschreibung mikrosystemtechnischer Komponenten
Clauß, C.; Haase, J.; Schwarz, P.; Wünsche, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Entwurf von Mikrosystemen
Schwarz, P.; Wünsche, S. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Grimme, R.; Schünemann, M. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Fuzzy-Chips für Temperaturregelung und Gasklassifikation
Jeroch, W. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Ein Fuzzy-Mikrosystem zur Gasklassifikation
Knobloch, J. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
| Tagungsband |
| 1995 | Mikrosystemtechnik - eine Zukunftstechnologie für die Gegenwart
Warnecke, H.-J. | Aufsatz in Buch |
| 1995 | Multikontaktierung von Nerven mit Mikrostrukturen
Meyer, J.-U.; Blau, C.; Stieglitz, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1995 | New alpha radiation detection systems for radon and radon daughter monitoring
Streil, Thomas; Klinke, Roland; Birkholz, W.; Just, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Angewandte Forschung in der Mikrosystemtechnik am Beispiel der Fraunhofer-Gesellschaft
Warnecke, H.-J. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Braucht die Mikrosystemtechnik die Reinraumtechnik?
Klumpp, B.; Dorner, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Herausforderung Mikromontage. Mikrosystemtechnik auf dem Vormarsch.
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Methoden zur Bestimmung von mechanischen Eigenschaften von Mikrokomponenten
Sommer, E.; Olaf, J.M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Potentiale nutzen, Hemmschwellen abbauen
Melchior, K. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Trends in the Industrial Production of MST
Dorner, J.; Schäfer, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Umdenken in den bestehenden Produktionsstätten
Schäfer, W.; Schraft, R.D. | Aufsatz in Buch |
| 1993 | Methoden zur Bestimmung von mechanischen Eigenschaften von Mikrokomponenten
Sommer, E.; Olaf, J.M. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Simulation von Mikrosystemen
Schwarz, P. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | CMOS integrated capacitive pressure transducer with on-chip electronics and digital calibration
Kopystynski, P.; Mehlhorn, T.; Benzel, H.; Brockherde, W.; Obermeier, E.; Schnatz, F.V.; Schöneberg, U. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | A gas sensor system with dielectric and mass sensors
Drost, S.; Endres, H.-E.; Hutter, F.; Kößlinger, C.; Mickle, C.D. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | A physical system for chemical sensors
Drost, S.; Endres, H.-E.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Elektrohydrodynamische Mikropumpe
Richter, A.; Sandmaier, H. | Zeitschriftenaufsatz |