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| 2015 | Schädigungsmechanische Modellierung der Rissinitiierungsphase in Schweißverbindungen
Beckmann, C.; Farajian, M.; Hohe, J.; Siegele, D. | Konferenzbeitrag |
| 2014 | Herausforderungen und innovative Lösungsansätze für die Mikromontage
Schlenker, Dirk | Konferenzbeitrag |
| 2009 | 3D-Aufnahmetechnik und Kameras
Bloß, H.; Tanger, R.; Centen, P.; Damsta, K.J.; Rooy, J. van; Drazic, V.; Schubert, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Mechanical behavior of nickel base foams for diesel particle filter applications
Duchamp, M.; Bartout, J.-D.; Forest, S.; Bienvenu, Y.; Walther, G.; Saberi, S.; Boehm, A. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Unsichtbares sichtbar machen
Kroll, Julia | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Machining of micro rotational parts by wire electrical discharge grinding
Uhlmann, E.; Piltz, S.; Oberschmidt, D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Micro-mechanical external-cavity laser with wide tuning range
Geerlings, E.; Rattunde, M.; Schmitz, J.; Kaufel, G.; Wagner, J.; Kallweit, D.; Zappe, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Bruchmechanik - Mit einer Einführung in die Mikromechanik. 4., bearb. Aufl.
Gross, D.; Seelig, T. | Buch |
| 2006 | Tribology of microsystems
Küster, R.; Bandorf, R.; Henke, C.; Lüthje, H.; Sick, J.-H.; Neumeister, C.; Phataralaoha, A.; Büttgenbach, S.; Gatzen, H.-H.; Bräuer, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Untersuchung der lokalen Bedingungen für die Spaltbruchauslösung in ferritischen Stählen
Hohe, J.; Friedmann, V.; Siegele, D. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Al-Al2O3 composites with interpenetrating network structures: Composite modulus estimation
Moon, R.J.; Tilbrook, M.; Hoffmann, M.; Neubrand, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Geometrically nonlinear homogenization analysis of hyperelastic solid foams
Hohe, J.; Becker, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2003 | Kohärente Layoutsynthese und Modellbildung von skalierbaren mikroelektromechanischen Strukturen
Voßkämper, L.M. | Dissertation |
| 2001 | Ein neuartiger mikromechanischer Aktor zur ein- und zweidimensionalen Ablenkung von Licht
Schenk, H. | Dissertation |
| 2001 | Untersuchung und Realisierung von taktilen Sensoren in Oberflächenmikromechanik
Leineweber, M. | Dissertation |
| 2001 | Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A. | Dissertation |
| 2000 | An electrostatically excited 2D-Micro-Scanning-Mirror with an in-plane configuration of the driving electrodes
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Grundlegende Untersuchungen zur Eigenspannungsmessung im Mikrometerbereich durch Korrelation magnetischer Prüfgrößen mit experimentell ermittelten Dehnungs- und Spannungsfeldern
Altpeter, I.; Kühn, S.; Kopp, M.; Arnold, W.; Kröning, M.; Zehetbauer, M. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Leuchtende Ablenkung: Mikromechanische 2D-Scannerspiegel erreichen 30kHz
Schenk, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | Materialabtrag mittels Laserstrahlung zur Herstellung von dreidimensionalen Mikroformwerkzeugen aus Hartstoffen
Hellrung, D. | Dissertation |
| 2000 | A spatial light modulator using moving liquid mirrors (MLM) on a CMOS active-matrix
Wolter, A.; Kirstein, K.-U.; Doleschal, W.; Kück, H.; Lakner, H.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Antrieb für mikromechanische Scannerspiegel
Schenk, H.; Dürr, P.; Sobe, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Dynamisches Verhalten von mikromechanischen Systemen unter Berücksichtigung von Nichtlinearitäten
Reitz, S.; Haase, J.; Schwarz, P. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Flexible Montage feinwerk- und mikrotechnischer Bauteile
Müller, E.; Spingler, J.; Schraft, R.D. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | Möglichkeiten und Grenzen der Mikrozerspanung
Wenda, A.; Beck, V.; Hüntrup, V.; Meisel, M.; Rothenburg, M.; Rübenach, O.; Schmütz, J.; Schwietering, C.; Gäbler, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1999 | A new driving principle for micromechanical torsional actuators
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | A novel electrostatically driven torsional actuator
Schenk, H.; Dürr, P.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Technologieentwicklung für Beschleunigungssensoren und Drehratensensoren unter Nutzung von Waferbondverfahren
Wiemer, M. | Dissertation |
| 1998 | Beschleunigungssensoren
Sölla, F.; Köhler, R.; Dürr, P.; Sobe, U. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Integrated surface micromachined pressure sensor for high pressure applications
Dudaicevs, H.; Hell, S.; Mokwa, W.; Schmidt, M. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Microtechnologies, microactuator device for lightmodulator applications
Gehner, A.; Doleschal, W.; Schwenger, L.; Kück, H.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1998 | Miniteile so sicher handhaben wie große
Wagner, T. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1998 | A novel tactile sensor system for heavy-load applications based on an integrated capacitive pressure sensor
Paschen, U.; Leineweber, M.; Amelung, J.; Schmidt, M.; Zimmer, G. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Anthropomorphic Tactile Sensors for Tactile Feedback Systems
Schünemann, M. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Modularized Microelectromechanical Devices as Key Components for Advanced Intelligent Autonomous Sensors and Control Systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Matuscheck, P.; Schäfer, W.; Reichl, H. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Piezoelektrische Werkstoffe und ihre Nutzung in mikrotechnisch hergestellten Strukturen
Schönecker, Andreas; Weihnacht, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Water control with a microanalytical system
Drost, S.; Wörmann, W.; Richter, M.; Ross, B.; Chemnitius, G.; Köster, O.; Konz, W.; Frimmel, F.H.; Schuhmann, W.; Ferretti, R.; Meixner, L. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, H.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Grundke, W.; Melcher, R.; Paufler, J.; Seltmann, R.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Fabrication of acceleration sensors using a new SIMOX technology for stiction free low stress
Geiger, W.; Erlebach, A.; Köhler, R.; Kück, H. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Mikromechanisch hergestellter Zerstäuber für kleine Flüssigkeitsmengen
Paneva, R. | Dissertation |
| 1996 | Partikelmessung in der Luft und Abnahmemessung von Reinräumen
Grimme, R.; Kaufmann, T.S. | Konferenzbeitrag |
| 1996 | Untersuchungen an integrierten Dünnfilmsensorarrays zur Analyse von Gasgemischen mittels statischer und dynamischer Verfahren
Werno, J. | Dissertation |
| 1995 | Deformable micromirror devices as phase modulation high resolution light valves
Kück, Heinz; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Grundke, W.; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Development Trends in the Industrial Production of Microsystems
Schäfer, W.; Schuenemann, M.; Grimme, R.; Grosser, V. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Mikrosystemtechnik. Entwicklungsstand und Marktumsetzung
Mokwa, W. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Monolithisch integrierter Drucksensor mit Ausleseelektronik
Schmidt, M.; Dudaicevs, H.; Machul, O.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E. | Konferenzbeitrag |
| 1995 | Readout electronics for wide temperature range with integrated surface micromachined capacitive pressure sensor
Schmidt, M.; Spiegel, E.; Dudaicevs, H.; Manoli, Y.; Mokwa, W. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Kleinste mechanische Elemente für die monolithische Integration in Mikrosystemen
Mokwa, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Mikrobaugruppen mechanisch prüfen
Michel, B.; Großer, V. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1994 | Probleme bei der Sicherung von Rezyklateigenschaften
Eisenreich, N.; Geißler, A. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Silizium - Werkstoff der Mikrosystemtechnik
Dudaicevs, H.; Mokwa, W. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Braucht die Mikromechanik die Reinraumtechnik?
Dorner, J. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | An integrated sensor for invasive blood velocity measurement
Eichholz, J.; Langerbein, A.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Kersjes, R.A. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Intelligente Sensorsysteme auf Siliziumbasis
Mokwa, W. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Meßgeräte und Vorgehensweisen bei Abnahmemessungen in Reinräumen
Kahlden, T. von | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Potential of microelectronics for mechatronics
Hosticka, B.J. | Konferenzbeitrag |
| 1993 | Verbindung und Montage - Schlüsselprobleme der Mikrosystemtechnik. Modularer Aufbau wird langfristig bleiben
Weisener, T.; Vögele, G.; Holzapfel, C. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Geringes Gewicht, kleinste Abmessungen durch Integration auf kleinstem Raum
Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Inbetriebnahme von Reinräumen
Kahlden, T. von | Zeitschriftenaufsatz |
| 1992 | Micro optic components on silicon platforms with etched micromechanical adjusting elements.
Konz, W.; Vogel, C. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Silicon technologies for sensor fabrication
Mokwa, W. | Aufsatz in Buch |
| 1991 | Electrohydrodynamic pumping and flow measurement
Hofmann, K.-A.; Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Methoden zur Herstellung konvexer Ecken beim anisotropen Ätzen von 100-Silicium in wässriger KOH Lösung
Offereins, H.L.; Kühl, K.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | A micromachined electrohydrodynamic injection pump
Hofmann, K.-A.; Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1991 | Studie Mikromechanik
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1991 | Studie Mikromechanik-Komponenten und Dienstleistungsanbieter
Kühl, K.; Csepregi, L.; Sandmaier, H. | Aufsatz in Buch |
| 1990 | An electrodynamic injection pump - a novel actuator for microsystem technology
Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | An electrohydrodynamic micropump
Richter, A.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Electrohydrodynamic micropumps
Richter, A. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Neue Entwicklung in der Mechatronik durch Einsatz der Mikroelektronik
Mokwa, W.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |
| 1990 | Novel stress free assembly technique for micromechanical services.
Offereins, H.L.; Sandmaier, H. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Mikromechanik der Rißausbreitung in Polymerwerkstoffen. Neue Wege zur Werkstoffcharakterisierung
Könczöl, L. | Konferenzbeitrag |
| 1988 | Thermally excited silicon microactuators
Benecke, W.; Riethmüller, W. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1987 | Maskenherstellung mit Hilfe der Mikromechanik
Csepregi, L. | Konferenzbeitrag |
| 1987 | Micromechanical silicon actuators based on thermal expansion effects
Heuberger, A.; Schnakenberg, U.; Benecke, W.; Riethmüller, W. | Konferenzbeitrag |
| 1987 | Optically excited and interrogated micromechanical silicon cantilever structure
Woelfelschneider, H.; Knoll, G.; Ramakrishnan, S.; Hoefflin, H.; Kist, R. | Konferenzbeitrag |
| 1987 | Optically excited mechanical vibrations in micromachined silicon cantilever structures
Heuberger, A.; Schnakenberg, U.; Wölfelschneider, H.; Knoll, G.; Ramakrishnan, S.; Höfflin, H.; Benecke, W.; Kist, R.; Riethmüller, W. | Konferenzbeitrag |