Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Direct fabrication of periodic structures on surfaces. Laser interference patterning as new scalable industrial tool
Lasagni, A.F.; Bieda, M.; Roch, T.; Langheinrich, D.
Zeitschriftenaufsatz
2007Transparent ceramics for structural applications. Pt. 2: Fields of Applications
Krell, A.; Hutzler, T.; Klimke, J.
Zeitschriftenaufsatz
2007Transparent ceramics: Transmission physics and consequences for materials selection, manufacturing, and applications
Krell, A.; Hutzler, T.; Klimke, J.
Konferenzbeitrag
2001Benchmarking of available rigorous electromagnetic field (EMF) simulators for phase-shift mask applications
Kalus, C.; List, S.; Erdmann, A.; Gordon, R.; McCallum, M.; Semmler, A.
Zeitschriftenaufsatz
2001The impact of exposure induced refractive index changes of photoresists on the photolithographic process
Erdmann, A.; Henderson, C.L.; Willson, C.G.
Zeitschriftenaufsatz
2001Optical simulation of 3D Mask effects
Rosenbusch, A.; Erdmann, A.; Friedrich, C.
Zeitschriftenaufsatz
1999FIRM: a new software tool for calibration of lithography simulation
Krüger, D.; Kalus, C.K.; Erdmann, A.; Friedrich, C.; Käsmaier, R.; Feike, A.
Konferenzbeitrag
1998Simulation and optimization of holographically exposed photoresist gratings
Zanke, C.; Gombert, A.; Erdmann, A.; Weiss, M.
Konferenzbeitrag
1998Simulation of optical lithography
Erdmann, A.; Henke, W.
Konferenzbeitrag
1996New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1995New system for fast submicron optical direct writing
Seltmann, R.; Doleschal, W.; Gehner, A.; Kück, H.; Melcher, R.; Paufler, J.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1989Anwendung synthetischer Hologramme zur hochgenauen Formprüfung asphärischer Oberflächen
Pfeifer, T.; Tutsch, R.
Zeitschriftenaufsatz
1986Deposition of polymer film patterns by ion beams
Fritzsche, C.R.; Eisele, K.M.
Zeitschriftenaufsatz
1982Deposition of thin films by beam induced polymerization of divinylbenzene.
Fritzsche, C.R.
Zeitschriftenaufsatz