Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000From Modular MEMS to a Modular Microfactory - the Hybrid Microfactory?
Großer, V.; Michel, B.; Schünemann, M.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
1998Produktionstechnik für Mikrosysteme 1998
 
Tagungsband
1997Anthropomorphic Tactile Sensors for Tactile Feedback Systems
Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
1997Manufacturing Concepts and Development Trends in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Schünemann, M.; Grimme, R.; Kaufmann, T.S.; Schwaab, G.; Bader, U.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Development Trends and Cleanroom Concepts in the Industrial Production of Microelectromechanical Systems
Grimme, R.; Schünemann, M.; Schließer, J.; Kaufmann, T.S.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Fertigungskonzepte für die industrielle Produktion von Mikrosystemen (MikroFAB)
Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Microfabrication techniques for microsystems - mu m Fab - and first practical experience
Grosser, V.; Hillmann, V.; Reichl, H.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1996Mikrofab - Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
Schünemann, M.; Grimme, R.; Schwaab, G.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1996Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme - MikroFAB -
 
Tagungsband
1996Modular System for Laser Microfabrication
Grimme, R.; Hillmann, V.; Jürss, M.; Otschik, P.; Poßner, T.
Konferenzbeitrag
1996Produktionstechnik für Mikrosysteme
 
Tagungsband
1996Sensors/Actuators of the functional ceramics based on Sol-Gel technique for microsystems
Grimme, R.; Otschik, P.; Gesemann, H.J.
Konferenzbeitrag
1996A Versatile Spray-Spin-Tool for Wet Chemistry Processes in a Microfabrication Line
Kluge, A.; Grimme, R.
Konferenzbeitrag
1995Mikrofabrikationstechniken für Mikrosysteme
 
Tagungsband