Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2004Influence of O2 flow rate on the structural properties of MgO films deposited by dual magnetron sputtering
Cheng, Y.H.; Kupfer, H.; Krause, U.; Richter, F.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2004Synthesis of high-density MgO films by a novel magnetron sputtering system
Nam, K.H.; Jung, M.J.; Han, J.G.; Kopte, T.; Hartung, U.; Peters, C.
Zeitschriftenaufsatz