Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Dreidimensionale Topographiesimulation der ionisierten Metallplasma-Abscheidung in der Halbleitertechnologie
Kistler, S.
Dissertation
2006Elektrochemisch generierte Schichtwerkstoffe und Kombinationsschichten
Schmid, Klaus
Konferenzbeitrag
2006Elektrochemisch generierte Werkstoffe für die Automobil- und Antriebstechnik - Werkstofftechnische Grundlagen
Romankiewicz, K.
Konferenzbeitrag
1988Laser-induced metal deposition for clear defect repair work on X-ray masks
Putzar, R.; Petzold, H.-C.; Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1987Laser-induced metal deposition on silicon membranes for X-ray lithography
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Konferenzbeitrag
1987Repair of clear X-ray mask defects by laser-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Zeitschriftenaufsatz