Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1988Laser-induced metal deposition for clear defect repair work on X-ray masks
Putzar, R.; Petzold, H.-C.; Weigmann, U.
Konferenzbeitrag
1987Identification and removal of opaque defects on X-ray masks in a focussed ion beam repair system
Weigmann, U.; Burghause, H.; Schaffer, H.
Zeitschriftenaufsatz
1987Laser-induced metal deposition on silicon membranes for X-ray lithography
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Konferenzbeitrag
1987Repair of clear X-ray mask defects by laser-induced metal deposition
Petzold, H.-C.; Putzar, R.; Weigmann, U.; Wilke, I.
Zeitschriftenaufsatz
1987Reparatur von Röntgenmasken mit Ionenstrahlen
Weigmann, U.
Konferenzbeitrag