Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2020 | Corona-Schutz, made im Ländle
Hintermayr, Sandra | Zeitschriftenaufsatz |
| 2017 | Strukturierte Oberflächen unter der Lupe
Stahl, Janek | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Tools zur flexiblen Werkstattsteuerung
Kaufmann, T.S.; Prause, M.; Steuber, S. | Konferenzbeitrag |
| 1984 | E-beam metrology of chromium master masks and masks for x-ray lithography
Betz, H.; Heuberger, A.; Bruenger, W.H.; Mueller, K.P. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1983 | Heating and temperatur induced distortions of silicon X-ray masks
Heinrich, H.; Betz, H.; Heuberger, A. | Konferenzbeitrag |