Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Influence of photoresist pattern on charging damage during high current ion implantation
Dirnecker, T.; Ruf, A.; Frey, L.; Beyer, A.; Bauer, A.J.; Henke, D.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1999Reliability of metal-oxide-semiconductor capacitors on pH-silicon carbide
Treu, M.; Schorner, R.; Friedrichs, P.; Rupp, R.; Wiedenhofer, A.
Konferenzbeitrag
1992Impact of illumination level and oxide parameters on Shockley-Read-Hall recombination at the Si-SiO2 interface
Aberle, A.G.; Glunz, S.; Warta, W.
Zeitschriftenaufsatz
1989The intrinsic states and fixed charges of the Si-SiO2 interface.
Klausmann, E.; Fahrner, W.R.; Bräunig, D.
Aufsatz in Buch