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| 2013 | Integration of multi-level MOEMS structure on CMOS for spatial light modulators
Friedrichs, Martin; List, Matthias; Müller, Michael | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Monolithic integration of MOEMS on CMOS backplanes using surface micromachining techniques
List, Matthias; Friedrichs, Martin; Müller, Michael | Konferenzbeitrag |
| 2011 | In situ surface topography measurement of MOEMS structures under laser exposure
Mai, A.; Krellmann, M.; Sinning, S.; Wolschke, S.; Dauderstädt, U.; Schenk, H.; Schmeißer, D.; Wagner, M. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2011 | Optical position feedback and phase control of resonant 1D and 2D MOEMS-scanners
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Tetikol, H.S.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Aluminium nitride: A promising and full CMOS compatible piezoelectric material for MOEMS applications
Conrad, H.; Schmidt, J.U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2009 | Position encoding and closed loop control of MOEMS translatory actuators
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A. | Konferenzbeitrag |
| 2008 | Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Konzeptionelle Untersuchungen eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation
Conrad, H.
: Wächter, F.; Sandner, T. | Master Thesis |
| 2007 | Miniaturized FTIR-spectrometer based on optical MEMS translatory actuator
Sandner, T.; Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Scherf, W. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Tilt compensated MOEMS projector as input device
Grueger, H.; Heberer, A.; Gerwig, C.; Nauber, P.; Scholles, M.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | DUV-reflective coatings and novel actuator materials for light modulator arrays
Schmidt, J.-U.; Friedrichs, M.; Sandner, T.; Heber, J.; Rudloff, D.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N. | Vortrag |
| 2006 | Global flatness of spatial light modulators
Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | High-performance coatings for micromechanical mirrors
Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Heber, J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | High surface planarity die bonding of large optical chips
Künzelmann, U.; Wagner, M.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Highly reflective coatings for micromechanical mirror arrays operating in the DUV and VUV spectral range
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Micromechanical scanning mirrors with highly reflective NIR coatings for high power applications
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Novel 3D-scanner based on electrostatically driven resonant micromirrors
Schelinski, U.; Gerwig, C.; Neumann, H.; Dallmann, H.-G.; Kleinmann, L.; Nauber, P.; Wolter, A.; Bergmann, A.; Scholles, M. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Scanning micro-mirrors: From bar-code-scanning to spectroscopy
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Damping analysis and measurement for a comb-drive scanning mirror
Sandner, T.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Designing MEMS for manufacturing
Wolter, A.; Herrmann, A.; Yildiz, G.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Fabrication end-test of the micro scanning mirror
Wolter, A.; Gaumont, E.; Korth, H.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Low-cost projection device with a 2D resonant microscanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | The MEMS micro scanning mirror for barcode reading: From development to production
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | MOEMS basierte Displays und Bildgebende Systeme
Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Tests on micro-mirror arrays for adaptive optics
Liesener, J.; Hupfer, W.; Gehner, A.; Wallace, K.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Torsional stress, fatigue and fracture strength in silicon hinges of a micro scanning mirror
Wolter, A.; Schenk, H.; Korth, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Driver ASIC for synchronized excitation of resonant micro-mirrors
Roscher, K.-U.; Fakesch, U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schlebusch, D. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Improved layout for a resonant 2D micro scanning mirror with low operation voltages
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2003 | Performance and applications of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Micro/nanoDAC deformation measurement to analyze packaging components response to thermo-mechanical load
Vogel, D.; Gollhardt, A.; Michel, B. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Strength and long-term reliability testing of wafer-bonded MEMS
Petzold, M.; Katzer, D.; Wiemer, M.; Bagdahn, J. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H. | Aufsatz in Buch |
| 2001 | Design and fabrication of micromirror arrays for UV-lithography
Lakner, H.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Doleschal, W.; Amelung, J. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 2001 | Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A. | Dissertation |
| 2000 | Micromirror arrays for wavefront correction
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Lakner, H. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A. | Konferenzbeitrag |
| 1999 | Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G. | Konferenzbeitrag |