Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017Real-time spectroscopy enabled by external cavity QCLs with MOEMS diffraction gratings
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Grahmann, Jan; Boskovic, Dusan; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Schilling, Christian; Rattunde, Marcel; Wagner, Joachim
Konferenzbeitrag
2013Integration of multi-level MOEMS structure on CMOS for spatial light modulators
Friedrichs, Martin; List, Matthias; Müller, Michael
Konferenzbeitrag
2012Monolithic integration of MOEMS on CMOS backplanes using surface micromachining techniques
List, Matthias; Friedrichs, Martin; Müller, Michael
Konferenzbeitrag
2011In situ surface topography measurement of MOEMS structures under laser exposure
Mai, A.; Krellmann, M.; Sinning, S.; Wolschke, S.; Dauderstädt, U.; Schenk, H.; Schmeißer, D.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2011Integrated piezoresistive position detection for electrostatic driven micro scanning mirrors
Grahmann, J.; Graßhoff, T.; Conrad, H.; Sandner, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2011Optical position feedback and phase control of resonant 1D and 2D MOEMS-scanners
Tortschanoff, A.; Frank, A.; Wildenhain, M.; Tetikol, H.S.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2009Aluminium nitride: A promising and full CMOS compatible piezoelectric material for MOEMS applications
Conrad, H.; Schmidt, J.U.; Pufe, W.; Zimmer, F.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Integrated position sensing for 2D microscanning mirrors using the SOI-device layer as the piezoresistive mechanical-elastic transformer
Grahmann, J.; Conrad, H.; Sandner, T.; Klose, T.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2009Position encoding and closed loop control of MOEMS translatory actuators
Lenzhofer, M.; Tortschanoff, A.; Frank, A.; Sandner, T.; Schenk, H.; Kraft, M.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2008Silicon-based micro-optic modulators
Schenk, H.; Wagner, M.; Gehner, A.; Müller, M.; Sandner, T.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Konzeptionelle Untersuchungen eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation
Conrad, H.
: Wächter, F.; Sandner, T.
Master Thesis
2007Miniaturized FTIR-spectrometer based on optical MEMS translatory actuator
Sandner, T.; Kenda, A.; Drabe, C.; Schenk, H.; Scherf, W.
Konferenzbeitrag
2007A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Tilt compensated MOEMS projector as input device
Grueger, H.; Heberer, A.; Gerwig, C.; Nauber, P.; Scholles, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006DUV-reflective coatings and novel actuator materials for light modulator arrays
Schmidt, Jan-Uwe; Friedrichs, Martin; Sandner, Thilo; Heber, Jörg; Rudloff, Dirk; Lakner, Hubert; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, Norbert
Vortrag
2006Global flatness of spatial light modulators
Wagner, M.; Künzelmann, U.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006High-performance coatings for micromechanical mirrors
Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Schmidt, J.U.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Heber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2006Highly reflective optical coatings for high power applications of micro scanning mirrors in the UV-VIS-NIR spectral region
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Yang, M.; Gatto, A.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.
Konferenzbeitrag
2006Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005High surface planarity die bonding of large optical chips
Künzelmann, U.; Wagner, M.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2005Highly reflective coatings for micromechanical mirror arrays operating in the DUV and VUV spectral range
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.
Konferenzbeitrag
2005Micromechanical scanning mirrors with highly reflective NIR coatings for high power applications
Sandner, T.; Schmidt, J.U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Braun, S.; Foltyn, T.; Leson, A.; Gatto, A.; Yang, M.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Novel 3D-scanner based on electrostatically driven resonant micromirrors
Schelinski, U.; Gerwig, C.; Neumann, H.; Dallmann, H.-G.; Kleinmann, L.; Nauber, P.; Wolter, A.; Bergmann, A.; Scholles, M.
Konferenzbeitrag
2005Scanning micro-mirrors: From bar-code-scanning to spectroscopy
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2004Damping analysis and measurement for a comb-drive scanning mirror
Sandner, T.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Designing MEMS for manufacturing
Wolter, A.; Herrmann, A.; Yildiz, G.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2004Fabrication end-test of the micro scanning mirror
Wolter, A.; Gaumont, E.; Korth, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Low-cost projection device with a 2D resonant microscanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004The MEMS micro scanning mirror for barcode reading: From development to production
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004MOEMS basierte Displays und Bildgebende Systeme
Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Tests on micro-mirror arrays for adaptive optics
Liesener, J.; Hupfer, W.; Gehner, A.; Wallace, K.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Torsional stress, fatigue and fracture strength in silicon hinges of a micro scanning mirror
Wolter, A.; Schenk, H.; Korth, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Driver ASIC for synchronized excitation of resonant micro-mirrors
Roscher, K.-U.; Fakesch, U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schlebusch, D.
Konferenzbeitrag
2003Improved layout for a resonant 2D micro scanning mirror with low operation voltages
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Performance and applications of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2002Micro/nanoDAC deformation measurement to analyze packaging components response to thermo-mechanical load
Vogel, D.; Gollhardt, A.; Michel, B.
Konferenzbeitrag
2002Strength and long-term reliability testing of wafer-bonded MEMS
Petzold, M.; Katzer, D.; Wiemer, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2001Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M.
Konferenzbeitrag
2001Bildgebende Mikrosysteme: Chips, die mit Licht arbeiten
Lakner, H.; Wolter, A.; Schenk, H.
Aufsatz in Buch
2001Design and fabrication of micromirror arrays for UV-lithography
Lakner, H.; Dürr, P.; Dauderstädt, U.; Doleschal, W.; Amelung, J.
Konferenzbeitrag
2001Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001Fiber-optic interferometer for absolute distance measurements with high measuring frequency
Bosbach, Christof; Driessen, Sascha; Pfeifer, Tilo; Michelt, Bertold
Konferenzbeitrag
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation
2000Micromirror arrays for wavefront correction
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
1999Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Konferenzbeitrag
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag