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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Hermetical sealing of pressure sensor diaphragms by CVD of Si1-XGeX with minimized cavity deposition
Walk, Christian; Netaev, Alexander; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2018Entwurf und Aufbau eines robusten Gassensorsystems für Biogasanlagen
Bierer, Benedikt
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Reindl, Leonhard M. (Zweitgutachter)
Dissertation
2018FO-WLP multi-DOF inertial sensor for automotive applications
Kuisma, Heikki; Cardoso, Andre; Mäntyoja, Nikolai; Rosenkrantz, Rüdiger; Nurmi, Sami; Gall, Martin
Konferenzbeitrag
2018A high-precision and high-bandwidth MEMS-based capacitive accelerometer
Utz, Alexander; Walk, Christian; Stanitzki, Alexander; Mokhtari, Mir; Kraft, Michael; Kokozinski, Rainer
Zeitschriftenaufsatz
2018Implantable multi-sensor system for hemodynamic controlling
Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Stanitzki, Alexander; Baum, Mario; Schröder, Tim; Wünsch, Dirk; Görtz, Michael; Grabmaier, Anton
Zeitschriftenaufsatz
2017Development of a patterning process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
Walk, Christian; Vidovic, Nino; Görtz, Michael; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017A high precision MEMS based capacitive accelerometer for seismic measurements
Utz, Alexander; Walk, Christian; Stanitzki, Alexander; Mokhtari, Mir; Kraft, Michael; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2017Implantable hemodynamic controlling system with a highly miniaturized two axis acceleration sensor
Baum, Mario; Wünsch, Dirk; Hiller, Karla; Forke, Roman; Schröder, Tim; Weidlich, Sebastian; Hahn, Susann; Reuter, Danny; Wiemer, Maik; Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Görtz, Michael; Otto, Thomas
Konferenzbeitrag
2017Implantable multi sensor system for hemodynamic controlling
Weidenmüller, Jens; Dogan, Özgü; Stanitzki, Alexander; Baum, Mario; Schröder, Tim; Wünsch, Dirk; Görtz, Michael; Grabmaier, Anton
Konferenzbeitrag
2017Layer by layer deposition of colloidal SnO2 nano particles
Gao, Haitao; Lyu, Xuemeng; Wöllenstein, Jürgen; Palzer, Stefan
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Nanodiamond resonators fabricated on 8'' Si substrates using adhesive wafer bonding
Lebedev, Vadim; Lisec, Thomas; Yoshikawa, Taro; Reusch, Markus; Iankov, Dimitre; Giese, Christian; Zukauskaite, Agne; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Zeitschriftenaufsatz
2017A side-wall spacer process for releasing and sealing of post-CMOS MEMS pressure sensor membranes
Walk, Christian; Görtz, Michael; Mokwa, Wilfried; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2017An ultra-low noise capacitance to voltage converter for sensor applications in 0.35  µm CMOS
Utz, Alexander; Walk, Christian; Haas, Norbert; Fedtschenko, Tatjana; Stanitzki, Alexander; Mokhtari, Mehran; Görtz, Michael; Kraft, Michael; Kokozinski, Rainer
Zeitschriftenaufsatz
2016Ceramic substrate technology for wafer level packaging of MEMS
Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Gabler, Felix; Roscher, Frank
Konferenzbeitrag
2016Development of a low temperature SiC protection layer for post-CMOS MEMS fabrication utilizing vapour release technologies
Walk, Christian; Chen, Yizhou; Vidovic, Nino; Kuhl, Andreas; Görtz, Michael; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2016Entwicklung eines piezoresistiven Drucksensors für Hochtemperaturanwendungen auf Basis eines SOI-Substrats
Goehlich, Andreas; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Celik, Yusuf; Schmidt, Andrei; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2016HOT-300 - a multidisciplinary technology approach targeting microelectronic systems at 300 °C operating temperature
Vogt, Holger; Altmann, Frank; Braun, Sebastian; Celik, Yusuf; Dietrich, Lothar; Dietz, Dorothee; Dijk, Marius van; Dreiner, Stefan; Döring, Ralf; Gabler, Felix; Goehlich, Andreas; Hutter, Matthias; Ihle, Martin; Kappert, Holger; Kordas, Norbert; Kokozinski, Rainer; Naumann, Falk; Nowak, Torsten; Oppermann, Hermann; Partsch, Uwe; Petzold, Matthias; Roscher, Frank; Rzepka, Sven; Schubert, Ralph; Weber, Constanze; Wiemer, Maik; Wittler, Olaf; Ziesche, Steffen
Konferenzbeitrag
2016Materials and technologies to enable high temperature stable MEMS and electronics for smart systems used in harsh environments
Gabler, Felix; Roscher, Frank; Döring, Ralf; Otto, Alexander; Ziesche, Steffen; Ihle, Martin; Celik, Yusuf; Dietz, Dorothee; Goehlich, Andreas; Kappert, Holger; Vogt, Holger; Naumann, Falk; Geßner, Thomas
Konferenzbeitrag
2016Systematik eines Beschleunigungssensor-Designkonzepts auf MEMS-Basis
Külls, R.
: Hiermaier, Stefan (Hrsg.); Thoma, K.
Dissertation
2015DTIP 2015, 17th Symposium on Design, Test, Integration and Packaging of MEMS/MOEMS
: Benoit, Charlot; Mita, Yoshio; Nouet, Pascal; Pressecq, Francis; Schröpfer, Gerold; Rencz, Marta; Schneider, Peter
Tagungsband
2014CMOS integrated biosensor for the detection of biomarkers
Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Manova, Radostina K.; Scheres, Luc; Roeven, Esther; Trilling, Anke; Schmidt, Andreas; Hutten, Ulrike; Neureiter, Katrin; Pierrat, Sebastien; Beek, Teris A. van; Vogt, Holger
Abstract
2014Design of a MEMS-based retina scanning system for biometric authentication
Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2014Development of an implantable integrated MEMS pressure sensor using polyimide epoxy composite and Atomic Layer Deposition for encapsulation
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Kraft, Michael
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Encapsulation of implantable integrated MEMS pressure sensors using polyimide epoxy composite and atomic layer deposition
Gembaczka, Pierre; Görtz, Michael; Celik, Yusuf; Jupe, Andreas; Stühlmeyer, Martin; Goehlich, Andreas; Vogt, Holger; Mokwa, Wilfried; Kraft, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2014Implantable sensor to measure liquor pressure of a ventricular drainage system
Görtz, Michael; Bögel, G. vom; Gembaczka, Pierre; Kraft, Michael
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Large field of view MEMS-based confocal laser scanning microscope for fluorescence imaging
Bechtel, Christin; Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich; Lakner, Hubert
Zeitschriftenaufsatz
2014MEMS-based miniature near-infrared spectrometer for application in environmental and food monitoring
Hintschich, Susanne; Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Schröder, Julia; Reinig, Peter; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Nano-diamond based spheres for radio frequency electromechanical resonators
Lebedev, V.; Iankov, D.; Heidrich, N.; Zürbig, V.; Wild, C.; Cimalla, V.; Ambacher, O.
Zeitschriftenaufsatz
2014Eine offene Telemetrieplattform für implantierbare Medizintechnik
Wallrodt, M.; Harnack, M.; Görtz, Michael; Fischer, R.; Mokwa, Wilfried; Biela, S.; Pfennig, M.; Schmitz-Rode, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2014PECVD of poly-SiGe/Ge layers with increased total gas flow
Wang, Qiang; Goehlich, Andreas; Ruß, Marco; Yang, Pin; Vogt, Holger
Zeitschriftenaufsatz
2014Processing of nanoscale gaps for boron-doped nanocrystalline diamond based MEMS
Iankov, D.; Zürbig, V.; Pletschen, W.; Giese, C.; Iannucci, R.; Ambacher, O.; Lebedev, V.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013Airborne engineered nanoparticle mass sensor based on a silicon resonant cantilever
Wasisto, H.S.; Merzsch, S.; Waag, A.; Uhde, E.; Salthammer, T.; Peiner, E.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2013CMOS integrated free standing circular membrane for the detection of allergens and biomarkers
Burmester, Kim; Goehlich, Andreas; Celik, Yusuf; Schmidt, Alexander; Klieber, Robert; Haas, Norbert; Greifendorf, Dieter; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2013Corrugated piezoelectric membranes for energy harvesting from aperiodic vibrations
Heidrich, N.; Knöbber, F.; Polyakov, V.M.; Cimalla, V.; Pletschen, W.; Sah, R.E.; Kirste, L.; Leopold, S.; Hampl, S.; Ambacher, O.; Lebedev, V.
Zeitschriftenaufsatz
2013Development of an universial allergen sensor system
Goehlich, Andreas; Burmester, Kim; Celik, Yusuf; Klieber, Robert; Greifendorf, Dieter; Haas, Norbert; Vogt, Holger
Konferenzbeitrag
2013Innovative approach to high stroke electrostatic actuators
Lange, Nicolas; Wippermann, Frank; Beckert, Erik; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas
Konferenzbeitrag
2013Nano-diamond vacuum MEMS for RF applications
Heidrich, N.; Hees, J.; Zürbig, V.; Iankov, D.; Pletschen, W.; Sah, R.E.; Raynor, B.; Kirste, L.; Nebel, C.E.; Ambacher, O.; Lebedev, V.
Konferenzbeitrag
2013Reliable wafer-level-bonding method for MEMS packaging using LTCC interposers
Ihle, Martin; Ziesche, Steffen; Roscher, Frank; Capraro, Beate; Partsch, Uwe
Konferenzbeitrag
2012Application of an abrasive-free Cu slurry for MEMS devices
Steible, B.; Stoldt, M.; Tack, M.; Zwicker, G.
Konferenzbeitrag
2012In-plane polarized PZT thick film actuators by screen printing technology
Ernst, D.; Bramlage, B.; Gebhardt, S.
Konferenzbeitrag
2012Microelectromechanical implants: Encapsulation concepts and test procedures
Betz, Wolfgang; Trieu, Hoc-Khiem; Vogt, Holger
Abstract
2012Realization of a hybrid-integrated MEMS scanning grating spectrometer
Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2011Evaluierung elastischer Eigenschaften von Mikro- und Nanostrukturen
Röhlig, C.-C.
: Ambacher, O. (Prüfer)
Dissertation
2011Micro- and nano-electromechanical resonators based on SiC and group III-nitrides for sensor applications
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Foerster, C.; Cimalla, V.; Stephan, R.; Pezoldt, J.; Stauden, T.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz
2010Development and characterisation of a miniaturized laser projection display based on MEMS-scanning-mirrors
Heger, A.; Schreiber, P.; Höfer, B.
Konferenzbeitrag
2010Embossing of double-sided micro lens arrays in optical glass
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2010Integrated actuators based on PZT thick films for microsystems applications
Gebhardt, S.; Schönecker, A.; Bruchmann, C.
Konferenzbeitrag
2010Integrated MEMS solutions for biomedical applications
Trieu, H.-K.
Konferenzbeitrag
2010Integrated micro and nanosystem solutions - potential for micro implants in diagnostics and therapy
Trieu, H.-K.
Abstract
2010MEMS-based thermal emitters and beyond
Hildenbrand, Jürgen
: Wöllenstein, Jürgen (Erstgutachter); Korvink, Jan Gerrit (Zweitgutachter)
Dissertation
2010Micro structuring of inorganic glass by hot embossing of coated glass wafers
Edelmann, J.; Worsch, C.; Schubert, A.; Rüssel, C.
Zeitschriftenaufsatz
2010Micromachined mid-infrared emitter for fast transient temperature operation for optical gas sensing systems
Hildenbrand, J.; Korvink, J.; Wollenstein, J.; Peter, C.; Kurzinger, A.; Naumann, F.; Ebert, M.; Lamprecht, F.
Zeitschriftenaufsatz
2010A new DC-temperature model for a diode bolometer based on SOI-pin-diode test structures
Kropelnicki, P.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2010Piezoelectric actuated epitaxially grown AlGaN/GaN-resonators
Niebelschütz, F.; Brueckner, K.; Tonisch, K.; Stephan, R.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Assembly of pressure sensor chips as an example for integrated MEMS for high temperature applications
Klieber, R.; Goehlich, A.; Trieu, H.-K.; Kappert, H.; Grabmaier, A.
Konferenzbeitrag
2009Biomonitoring
Kernchen, R.
Zeitschriftenaufsatz
2009CMOS Post-Processing für kompakte, intelligente Mikrosysteme
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2009Doppelseitiges Heißprägen von Mikrolinsenarrays
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.
Aufsatz in Buch
2009Fast transient temperature operating micromachined emitter for mid-infrared for optical gas sensing systems
Hildenbrand, J.; Peter, C.; Lamprecht, F.; Kürzinger, A.; Naumann, F.; Ebert, M.; Wehrspohn, R.; Wöllenstein, J.
Konferenzbeitrag
2009Heissgeprägte Glaswafer für Mikrosystemtechnikanwendungen
Schubert, A.; Edelmann, J.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2009High-temperature SOI CMOS compatible MEMS pressure sensors
Lerch, Renee G.; Kordas, Norbert; Klieber, Robert; Kokozinski, Rainer
Konferenzbeitrag
2009Isothermes Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Worsch, C.; Rüssel, C.; Edelmann, J.; Schubert, A.
Zeitschriftenaufsatz
2009LabOnFoil: Laboratory skin patches and SmartCards based on OLED-on-CMOS and MEMS components
Scholles, M.; Doyle, H.; Merveilles, C.; Ruano-Lopez, J.; Vogel, U.
Konferenzbeitrag
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Edelmann, J.; Worsch, C.
Bericht
2009Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Rüssel, C.; Edelmann, J.
Aufsatz in Buch
2009Mikrosystemtechnik
Weimert, B.
Zeitschriftenaufsatz
2009Nanocrystalline diamond microelectromechanical resonators
Sillero, E.; Williams, O.A.; Lebedev, V.; Cimalla, V.; Röhlig, C.-C.; Nebel, C.E.; Calle, F.
Konferenzbeitrag
2009Resonant piezoelectric ALGAN/GAN mems sensors in longitudinal mode operation
Brueckner, K.; Niebelschütz, F.; Tonisch, K.; Stephan, R.; Cimalla, V.; Ambacher, O.; Hein, M.A.
Konferenzbeitrag
2009StairMaster: Ein neues Gerät zur online Erkennung von Stürzen
Lüder, Marian; Salomon, Ralf; Bieber, Gerald
Konferenzbeitrag
2009Sturzerkennung mittels Luftdruck- und Beschleunigungssensorik Air Pressure- and Acceleration-Based Fall Detector
Lüder, Marian; Bieber, Gerald; Salomon, Ralf
Konferenzbeitrag
2009Tensile testing of individual ultrathin electrospun poly(L-lactic acid) fibers
Jaeger, D.; Schischka, J.; Bagdahn, J.; Jaeger, R.
Zeitschriftenaufsatz
2009Thermal and mechanical design optimisation of a micro machined mid-infrared emitter for optical gas sensing systems
Naumann, F.; Ebert, M.; Hildenbrand, J.; Moretton, E.; Peter, C.; Wöllenstein, J.
Konferenzbeitrag
2009Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
Weimert, B.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.; Grüne, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Beschichtungsstrategie für die Heißformgebung von Glas
Edelmann, J.; Schubert, A.; Rüssel, C.; Worsch, C.
Zeitschriftenaufsatz
2008Fluidische Mikroreaktionssysteme - Fertigungstechnik für Prototypen und Serien aus Kunststoffen und Gläsern
Edelmann, J.; Eckert, U.; Burkhardt, T.
Konferenzbeitrag
2008Method for the compensation of process-immanent form deviation in hot embossing of glass
Schubert, A.; Edelmann, J.
Konferenzbeitrag
2008Mikrostrukturierung von Glas durch Heißprägen von beschichteten Glaswafern
Neugebauer, Reimund; Edelmann, J.; Rüssel, C.
Aufsatz in Buch
2008Schichtstabilität und Duktilität bei der Mikrostrukturierung technischer Gläser im Heißformgebungsprozess
Fritzsch, M.
Dissertation
2008Stress-driven oxidation chemistry of wet silicon surfaces
Colombi Ciacchi, L.; Cole, D.J.; Payne, M.C.; Gumbsch, P.
Zeitschriftenaufsatz
2007DAVID - A strategic research project for chip-scale MEMS/ASIC co-integration
Marenco, N.; Reinert, W.; Warnat, S.
Konferenzbeitrag
2007Development of a piezoelectric lead titanate thin film process on silicon substrates by high rate gas flow sputtering
Jacobsen, H.; Jung, T.; Ortner, K.; Schiffmann, K.I.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2007Fracture strength of SOI springs in MEMS micromirrors
Hsu, S.-T.; Wolter, A.; Owe, W.-D.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2007The geometric design of microbolometer elements for uncooled focal plane arrays
Ruß, M.; Bauer, J.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2007Konzeptionelle Untersuchungen eines elektrothermisch auslenkbaren mikromechanischen Membranspiegels zur aktiven Fokusvariation
Conrad, H.
: Wächter, F.; Sandner, T.
Master Thesis
2007Measurement of dynamic properties of MEMS and the possibilities of parameter identification by simulation
Ebert, M.; Naumann, F.; Gerbach, R.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2007Mikrosystemtechnisch hergestellte Fabry-Pérot-Interferenzdisplays mit hydrophobisierten Bildpunktmembranen
Knieling, T.
Dissertation
2007A new micro laser camera
Drabe, C.; James, R.; Klose, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2007Preiswerter mikromechanischer RF-Schalter im hermetisch dichten Gehäuse
Lisec, T.
Zeitschriftenaufsatz
2007Surface technology with cold microplasmas
Klages, C.-P.; Hinze, A.; Lachmann, K.; Berger, C.; Borris, J.; Eichler, M.; Hausen, M. von; Zänker, A.; Thomas, M.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007Ultra compact laser projection systems based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schwarzenberger, M.
Konferenzbeitrag
20063D-PCB-Packages mit Wasserkühlung für High-Power-Anwendungen
Schindler-Saefkow, F.; Schramm, H.; Schacht, R.; Wunderle, B.; Michel, B.
Konferenzbeitrag
2006Drop simulation and stress analysis of MEMS devices
Hauck, T.; Li, G.; McNeill, A.; Knoll, H.; Ebert, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2006Extended damping model for out-of-plane-comb driven micromirrors
Klose, T.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Influence of the frequency on fatigue of directly wafer-bonded silicon
Bagdahn, J.; Bernasch, M.; Petzold, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Numerical identification of geometric parameters from dynamic measurement of grinded membranes on wafer level
Ebert, M.; Gerbach, R.; Bagdahn, J.; Michael, S.; Hering, S.
Konferenzbeitrag
2006Scanning 2D micromirror with enhanced flatness at high frequency
Wolter, A.; Klose, T.; Hsu, S.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2006Strength characterization of directly bonded silicon
Wiemer, M.; Fischer, C.; Bernasch, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2005Angle-controlled assembly of inclination sensors
Schubert, A.; Koriath, H.-J.; Böttcher, R.
Konferenzbeitrag
2005High resolution acoustical methods: Micro- and nano-materials applications
Meyendorf, N.
Konferenzbeitrag
2005Mechanical reliability of directly bonded silicon MEMS components
Bagdahn, J.; Wiemer, M.; Petzold, M.
Konferenzbeitrag
2005Miniaturized optical module for projection of arbitrary images based on two-dimensional resonant micro scanning mirrors
Scholles, M.; Bräuer, A.; Frommhagen, K.; Gerwig, C.; Höfer, B.; Jung, E.; Lakner, H.; Schenk, H.; Schneider, B.; Schreiber, P.; Wolter, A.
Konferenzbeitrag
2005NON-destructive strength testing of anodic bonded glass-silicon wafer compounds
Knechtel, R.; Knaup, M.; Bagdahn, J.; Wiemer, M.
Konferenzbeitrag
2005Novel 3D-scanner based on electrostatically driven resonant micromirrors
Schelinski, U.; Gerwig, C.; Neumann, H.; Dallmann, H.-G.; Kleinmann, L.; Nauber, P.; Wolter, A.; Bergmann, A.; Scholles, M.
Konferenzbeitrag
2005Stress optimization of a micromechanical torsional spring
Klose, T.; Kunze, D.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schneider, A.; Schneider, P.
Konferenzbeitrag
2005Studies on three-dimensional moulding, bonding and assembling of low-temperature-cofired ceramics for MEMS and MST applications
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Burgard, M.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2005Von MEMS und Motes - Ein Blick in die (mögliche) Zukunft des Bauwerk-Monitorings mit Hilfe intelligenter Sensornetzwerke
Schubert, F.; Große, C.; Krüger, M.; Frankenstein, B.; Hentschel, D.; Uddin, F.
Konferenzbeitrag
2004Accelerometer by means of a resonant micro actuator
Drabe, C.; Schenk, H.; Roscher, K.-U.; Kunze, D.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Determination of residual stress in glass frit bonded MEMS by finite element analysis
Ebert, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2004Development of a NIR micro spectrometer based on a MOEMS scanning grating
Zimmer, F.; Grüger, H.; Heberer, A.; Wolter, A.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2004Fabrication end-test of the micro scanning mirror
Wolter, A.; Gaumont, E.; Korth, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Low-cost projection device with a 2D resonant microscanning mirror
Roscher, K.-U.; Grätz, H.; Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004MEMS and microsystems based on low-temperature cofired ceramics: A cost analysis
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Jäger, T.; Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
2004Mikro-Brennstoffzellen
Neupert, U.
Zeitschriftenaufsatz
2004Miniature pressure sensor and micromachined actuator structure based on low-temperature-cofired ceramics and piezoelectric material
Khanna, P.K.; Hornbostel, B.; Grimme, R.; Schäfer, W.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2004Nano-scratch testing on thin diamond-like carbon coatings for microactuators: Friction, wear and elastic-plastic deformation
Küster, R.; Schiffmann, K.I.
Zeitschriftenaufsatz
2004Photonic microsystems: An enabling technology for light deflection and modulation
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Grüger, H.; Drabe, C.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Strength and reliability properties of glass frit bondet micro packages
Glien, K.; Graf, J.; Müller-Fiedler, R.; Höfer, H.; Ebert, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2004Torsional stress, fatigue and fracture strength in silicon hinges of a micro scanning mirror
Wolter, A.; Schenk, H.; Korth, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Driver ASIC for synchronized excitation of resonant micro-mirrors
Roscher, K.-U.; Fakesch, U.; Schenk, H.; Lakner, H.; Schlebusch, D.
Konferenzbeitrag
2003Improved layout for a resonant 2D micro scanning mirror with low operation voltages
Wolter, A.; Schenk, H.; Gaumont, E.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2003Kohärente Layoutsynthese und Modellbildung von skalierbaren mikroelektromechanischen Strukturen
Voßkämper, L.M.
Dissertation
2003Performance and applications of a spectrometer with micromachined scanning grating
Grüger, H.; Wolter, A.; Schuster, T.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2002Micro Materials Center Berlin: Reliability research for MEMS
Michel, B.; Winkler, T.
Konferenzbeitrag
2002Micro/nanoDAC deformation measurement to analyze packaging components response to thermo-mechanical load
Vogel, D.; Gollhardt, A.; Michel, B.
Konferenzbeitrag
2002A modular approach for simulation-based optimization of MEMS
Schneider, P.; Schneider, A.; Schwarz, P.
Zeitschriftenaufsatz
2002MOSCITO - a program system for MEMS optimization
Schneider, P.; Schneider, A.; Bastian, J.; Reitz, S.; Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
2002Strength and long-term reliability testing of wafer-bonded MEMS
Petzold, M.; Katzer, D.; Wiemer, M.; Bagdahn, J.
Konferenzbeitrag
2001Design optimization of an electrostatically driven Micro Scanning Mirror
Schenk, H.; Wolter, A.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001A tool-box approach to the simulation of multi-physics systems
Schwarz, P.
Konferenzbeitrag
2001Ultra precision manufacturing of self-assembled micro systems
Sharon, A.; Bilsing, A.; Lewis, G.
Konferenzbeitrag
2001Untersuchungen zu einem hochauflösenden Flächenlichtmodulator mit einstellbarem Profil einer Flüssigkeitsoberfläche zur optischen Musterwiedergabe
Wolter, A.
Dissertation
2000CO2-Verfahren zur Konditionierung nichtmetallischer Grenzflächen
Werner, D.; Zorn, C.
Konferenzbeitrag
2000From Modular MEMS to a Modular Microfactory - the Hybrid Microfactory?
Großer, V.; Michel, B.; Schünemann, M.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
2000Mechatronische Produkte und Komponenten
Wittenstein, M.; Schünemann, M.
Konferenzbeitrag
2000MEMS Modular Packaging and Interfaces
Schünemann, M.; Jam, A.K.; Großer, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
2000MicroScan: a DMD based optical surface profiler
Bitte, F.; Dussler, G.; Pfeifer, T.; Frankowski, G.
Konferenzbeitrag
2000Modularized Microelectromechanical Systems
Bauer, G.; Schünemann, M.; Schäfer, W.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Konferenzbeitrag
1999The Economic Potential of Miniaturization from the Industrial Viewpoint
Schünemann, M.; Hüntrup, V.; Bierhals, R.
Zeitschriftenaufsatz
1999A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Zeitschriftenaufsatz
1999Micromirror spatial light modulators
Dürr, P.; Gehner, A.; Dauderstädt, U.A.
Konferenzbeitrag
1999Micromirrors for direct writing systems and scanners
Lakner, H.; Doleschal, W.; Dürr, P.; Gehner, A.; Schenk, H.; Wolter, A.; Zimmer, G.
Konferenzbeitrag
1999Modulare Mikrosysteme für den Maschinen- und Anlagenbau
Schünemann, M.; Bauer, G.; Großer, V.; Dorner, J.
Zeitschriftenaufsatz
1999Wirtschaftliche Potentiale der Miniaturisierung
Weule, H.; Hüntrup, V.; Thies, U.; Schünemann, M.; Bierhals, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Baukastensystem Mikrosystemtechnik
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.; Großer, V.; Leutenbauer, R.
Zeitschriftenaufsatz
1998Cleaning with Carbon Dioxide Snow Inspection of a Cleaning Method
Westkämper, E.; Schüle, A.; Werner, D.
Konferenzbeitrag
1998A highly flexible design and production framework for modularized microelectromechanical systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998Local laser supported cleaning of microelectromechanical systems and components
Schwaab, G.; Grimme, R.; Rockowicz, M.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1998Modularization of Microsystems and Standardization of Interfaces
Schünemann, M.; Bauer, G.; Schäfer, W.; Leutenbauer, R.; Grosser, V.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
1998Wafer bonding with an adhesive coating
Klink, G.; Hillerich, B.
Konferenzbeitrag
1997Modular magazine for the suitable handling of microparts in industry
Grimme, R.; Schmutz, W.; Schlenker, D.; Schünemann, M.; Stock, A.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag
1997Modularized Microelectromechanical Devices as Key Components for Advanced Intelligent Autonomous Sensors and Control Systems
Schünemann, M.; Grosser, V.; Leutenbauer, R.; Matuscheck, P.; Schäfer, W.; Reichl, H.
Konferenzbeitrag
1996Adhesive Gripper - a New Tool for Microassembly
Bark, C.; Vögele, G.; Weisener, T.
Konferenzbeitrag
1994Mikroelektronik, eine Schlüsseltechnologie im Umweltschutz
Angerer, G.
Aufsatz in Buch
1990An electrodynamic injection pump - a novel actuator for microsystem technology
Plettner, A.; Richter, A.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1990Elektrohydrodynamische Mikropumpe für elektromechanische Systeme
Richter, A.
Konferenzbeitrag