Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1996Temperature measurement at RTP facilities. An overview
Wagner, J.; Böbel, F.G.
Konferenzbeitrag
1995In situ film thickness and temperature control of molecular beam epitaxy growth by pyrometric interferometry
Böbel, F.G.; Möller, H.; Hertel, B.; Grothe, H.; Schraud, G.; Schröder, S.; Chow, P.
Zeitschriftenaufsatz
1995In situ observation of chemical vapour deposition growth of epitaxial SiGe thin films by reflexion supported pyrometric interferometry
Ritter, G.; Tillack, B.; Weidner, M.; Zaumseil, P.; Böbel, F.G.; Hertel, B.; Möller, H.
Konferenzbeitrag
1995Pyrometrische Interferometrie. Ein neues Meßverfahren zur in-situ-Prozeßkontrolle
Böbel, F.G.
Dissertation
1995Temperature controlling with reflection supported interferometry (RSPI) at rapid thermal chemical vapor deposition-facilities (RTCVD)
Märitz, J.; Möller, H.; Böbel, F.G.; Ritter, G.; Weusthof, M.H.H.; Hollemann, J.
Konferenzbeitrag
1994In situ film-thickness and temperature monitor
Böbel, F.G.; Möller, H.; Hertel, B.; Ritter, G.; Chow, P.
Zeitschriftenaufsatz
1993Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1990Sicherheit bei Halbleiterfertigungsgeräten
Streckfuß, N.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Ryzlewicz, C.
Tagungsband
1988Evaluation of semiconductor manufacturing equipment with respect to particle generation
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Konferenzbeitrag
1988Safety aspects of ion implantation.
Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1988Safety consideration for ion implanters.
Hamers, P.; Ryssel, H.
Aufsatz in Buch
1987Prozeßüberwachung bei Halbleiterfertigungsgeräten
Ryssel, H.; Pfitzner, L.
Konferenzbeitrag
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie