Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Automated Framework Based on Supply Chain Events
Bauer, Dennis; Schlereth, Andreas; Maier, Florian; Ponsignon, Thomas; Bernd, Waschneck
Aufsatz in Buch
2018Case Study on Operator Compliance to Scheduling Decisions in Semiconductor Manufacturing
Waschneck, Bernd; Altenmüller, Thomas; Bauernhansl, Thomas; Kyek, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Deep reinforcement learning for semiconductor production scheduling
Waschneck, Bernd; Reichstaller, Andre; Belzner, Lenz; Altenmüller, Thomas; Bauernhansl, Thomas; Knapp, Alexander; Kyek, Andreas
Konferenzbeitrag
2017Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala
Bott, Sascha
: Gerlach, G.; Bartha, J.W.; Heitmann, J.
Dissertation
2011Modulares Steuerungskonzept für integrierte Messtechnik in der Halbleiterfertigung am Beispiel einer Mehrkammerprozessanlage
Schellenberger, Martin
: Ryssel, H.; Frey, L.
Dissertation
2004Authorization and authentification standard (overview and status)
Dreiss, P.; Bichlmeier, J.
Konferenzbeitrag
2004Diagnostic data acquisition (DDA) data collection management standards (overview and status)
Dreiss, P.; Willmann, R.
Konferenzbeitrag
2004EDA demonstration
Dreiss, P.; Kender, E.
Konferenzbeitrag
2004Lot release planning for customer oriented manufacturing
Löffler, B.
Konferenzbeitrag
2004A new method to determine the tool count of a semiconductor factory using FabSim
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2004Polierverfahren in der Halbleiterfertigung
Pfitzner, L.; Bär, E.; Frickinger, J.; Nguyen, H.; Nutsch, A.
Konferenzbeitrag
2003A simulation framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Zeitschriftenaufsatz
2003Synchronous discrete event simulation for fast and efficient simulation of a complete semiconductor factory
Vogt, H.
Konferenzbeitrag
2000Grobplanung mit künstlichen neuronalen Netzwerken für die Halbleiterfertigung
Schmidt, T.
Dissertation
1999Analytik für die Prozeßtechnik
Gemmler, A.
Konferenzbeitrag
1999Das Informationstechnik-Konzept der Flexiblen Fab
Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Aron, J.
Konferenzbeitrag
1999Objektorientierte Modellierung des Materialflusses für eine flexible Produktion
Mönch, G.; Podewils, M. von; Schmalfuß, V.; Aron, J.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.
Zeitschriftenaufsatz
1999Die Organisation der Flexiblen Fab
Frauenhoffer, F.; Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Silvi, T.; Sturm, R.; Podewils, M. von
Konferenzbeitrag
1999Untersuchungen von Reinheitssystemen zur Herstellung von Halbleiterprodukten
Schließer, J.
Dissertation
1998Oxide layer thickness measurement
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
1998Ein Planungs- und Steuerungsebenenmodell für das flexible Halbleiterunternehmen
Frauenhoffer, F.; Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
1998Smart Fabrication Verbund CIM 1998
 
Tagungsband
1997Gestaltung und Management von Geschäftsprozessen in der Halbleiter-Fertigung
Faiß, J.
Konferenzbeitrag
1997Informationsplattform "Initiative Reinstmedien/Joint Media"
Ernst, C.; Naffin, F.; Werner, D.
Konferenzbeitrag
1997Smart Fabrication Verbund CIM 1997
 
Tagungsband
1996Planning and realization of a highly intelligent and flexible transport system for the material distribution of minienvironment
Bader, U.; Schließer, J.; Hägele, K.-D.
Konferenzbeitrag
1996Smart Fabrication Verbund CIM 1996
 
Tagungsband
1995Future Smif-Integration for Semiconductor Fabrication
Herzog, O.; Klumpp, B.; Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1993Pyrometrische Interferometrie: Ein neues Werkzeug zur Prozeßkontrolle in schichtabscheidenden Prozessen
Möller, H.; Böbel, F.G.
Konferenzbeitrag
1993Reflexion supported pyrometric interferometry. A new tool for in situ, real time temperature control in semiconductor manufacturing
Böbel, F.G.; Möller, H.; Preiß, W.
Konferenzbeitrag
1993Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen
Bader, U.
Konferenzbeitrag
1992Einsatzmöglichkeiten von OSF/Motif für Produktionsanlagen im Reinraum
Herzog, O.
Konferenzbeitrag
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Tagungsband
1991In-situ film thickness measurements by using pyrometric interferometry
Boebel, F.G.; Bonnes, U.; Frohmader, K.P.
Konferenzbeitrag
1991Pure materials for media supply
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1990Meßtechnik und Analytik für Halbleiterfertigungsgeräte
Eichinger, P.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989Internal process control and automation for semiconductor manufacturing equipment
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989International process control and automation for semiconductor manufacturing equipment
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit. Prüfzentrum für Halbleiterfertigungsgeräte
Herz, R.; Kahlden, T. von; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Fertigungstechnik im Reinraum. Nur so rein wie noetig - Trend zu hochautomatisierter Fertigung
Schraft, R.D.; Schmutz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Halbleiterfertigungstechnik auf der Semicon Europe 1988
Fruehauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1988Reduction of wafer transfer for optimizing material flow
Mack, A.; Sauter, K.-D.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1987Studie über den Stand der Technik und zukünftige Anforderungen an Fertigungseinrichtungen zur Herstellung von Halbleiterbauelementen unter Berücksichtigung verschiedener Herstellungsverfahren
Aderhold, W.; Frühauf, W.; Herz, R.; Kahlden, T. von; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Sauter, K.-D.; Schmutz, W.; Schraft, R.D.
Studie