Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Integrales Reinheitssystem
Schließer, J.; Werner, D.
Aufsatz in Buch
2002Sauberkeitsgerechte Produktionsgestaltung
Schließer, J.; Rochowicz, M.
Konferenzbeitrag
1999Integrales Reinheitssystem
Werner, D.; Schließer, J.
Konferenzbeitrag
1999Optimierung von Reinraumproduktionen
Dorner, J.; Schließer, J.; Ernst, C.; Werner, D.
Konferenzbeitrag
1994Perspektiven der Fertigungsgeräte-Industrie in der industriellen Produktion von Mikrosystemen
Schäfer, W.; Schweizer, M.; Dorner, J.; Weisener, T.; Vögele, G.
Konferenzbeitrag
1993Chancen außerhalb der Chip-Produktion - Verbundprojekt förderte Kooperation zur Gerätespezifikation und zeigte Entwicklungsschwerpunkte auf. Hersteller von Fertigungsgeräten für die Mikroelektronik suchen nach neuen Märkten
Schäfer, W.
Zeitschriftenaufsatz
1993Mikrosystemtechnik - Gerätetechnik - Entwicklungsstand, Entwicklungstrends und Herausforderungen
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1992Entwicklungsrichtlinien für reinraumtaugliche Fertigungsgeräte
Degenhart, E.
Konferenzbeitrag
1992Qualifizierung von Fertigungsgeräten und Komponenten für den Einsatz unter Reinraumbedingungen
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Systematical concept and statistical evaluation of airborne particle measurements during testing equipment for cleanroom suitability
Warnecke, H.-J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1991Systematische Vorgehensweise und statistische Auswertung von Messungen luftgetragener Partikel bei Untersuchungen von Fertigungsgeräten auf Reinheitstauglichkeit
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1989Richtlinienentwurf - Standardisierung von Untersuchungen auf Reinraumtauglichkeit
Degenhart, E.; Geißinger, J.; Kahlden, T. von
Zeitschriftenaufsatz
1988Procedures for testing clean room suitability of manufacturing equipment
Warnecke, H.-J.; Degenhart, E.; Geissinger, J.; Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag