Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1998Entwicklung und Charakterisierung membran-elastisch gekoppelter Siliziumanordnungen als flexibles Substrat zur CMOS-kompatiblen Integration von 3D-Mikrosystemen
Trieu, H.-K.
Dissertation
1998A generalized model describing corner undercutting by the experimental analysis of TMAH/IPA
Trieu, H.-K.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1998A generalized model describing corner undercutting by the experimental analysis of TMAH/IPA
Trieu, H.-K.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1997A generalized model describing corner undercutting by the experimental analysis of TMAH/IPA
Trieu, H.-K.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag