Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2011Electrostatic clamping with an EUVL mask chuck: Particle issues
Kalkowski, G.; Zeuske, J.R.; Risse, S.; Müller, S.; Peschel, T.; Rohde, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011Study on the lifetime of Mo/Si multilayer optics with pulsed EUV-source at the ETS
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C.
Konferenzbeitrag
2010Determination of local electrostatic forces for EUVL mask chucks
Kalkowski, G.; Peschel, T.; Risse, S.; Müller, S.; Engelstad, R.L.; Zeuske, J.R.; Vukkadala, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2008High-performance EUV multilayer optics
Kaiser, N.; Yulin, S.; Perske, M.; Feigl, T.
Konferenzbeitrag
2008Mo/Si multilayers with enhanced TiO2- and RuO2-capping layers
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Fang, M.; Chandhok, M.
Konferenzbeitrag
2006EUV multilayer mirrors with enhanced stability
Benoit, N.; Yulin, S.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2006EUV multilayer optics
Feigl, T.; Yulin, S.; Benoit, N.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Interface-engineered EUV multilayer mirrors
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2005High-temperature multilayers
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Interface-engineered multilayer mirrors
Yulin, S.; Bernoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Radiation stability of EUV Mo/Si multilayer mirrors
Benoit, N.; Yulin, S.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2001Damage resistant and low stress EUV multilayer mirrors
Feigl, T.; Yulin, S.; Kuhlmann, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2001Heat resistance of EUV multilayer mirrors for long-time applications
Feigl, T.; Lauth, H.; Yulin, S.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz