Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2018Strukturierungsverfahren
Fader, Robert; Lorenz, Jürgen; Rommel, Mathias; Baum, Mario; Danylyuk, Serhiy; Gillner, Arnold; Stollenwerk, Jochen; Bläsi, Benedikt
Aufsatz in Buch
2015Characterization of Mo/Si mirror interface roughness for different Mo layer thickness using resonant diffuse EUV scattering
Haase, Anton; Soltwitsch, Victor; Scholze, Frank; Braun, Stefan
Konferenzbeitrag
2014Actinic damage of Y/Mo multilayer optics in a table-top plasma-driven x-ray laser
Bleiner, David; Yulin, Sergiy; Martynczuk, Julia; Ruiz-Lopez, Mabel; Arbelo, Yunieski; Balmer, Jürg E.; Günther, Detlef
Zeitschriftenaufsatz
2012Quantum efficiency determination of a novel CMOS design for fast imaging applications in the extreme ultraviolet
Herbert, Stefan; Banyay, Matus; Maryasov, Alexey; Hochschulz, Frank; Paschen, Uwe; Vogt, Holger; Juschkin, Larissa
Zeitschriftenaufsatz
2011Challenges of high-speed EUV mask blank inspection
Herbert, S.; Hochschulz, Frank; Maryasov, A.; Danylyuk, S.
Konferenzbeitrag
2010Fast and highly accurate simulation of the printing behavior of EUV multilayer defects based on different models
Shao, F.; Evanschitzky, P.; Motzek, K.; Erdmann, A.
Konferenzbeitrag
2008Extreme-ultraviolet-induced oxidation of Mo/Si multilayers
Benoit, N.; Schroeder, S.; Yulin, S.; Feigl, T.; Duparre, A.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Zeitschriftenaufsatz
2008Scattering of EUV optics - substrate, coating, and degradation effects
Schröder, S.; Tünnermann, A.; Benoit, N.; Feigl, T.; Duparre, A.
Konferenzbeitrag
2007Flatness characterization of EUV mask chucks
Kalkowski, G.; Risse, S.; Müller, S.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2006Schwarzschild-objective-based EUV micro exposure tool
Zeitner, U.; Feigl, T.; Benkenstein, T.; Damm, C.; Peschel, T.; Kaiser, N.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2005EUV/soft x-ray multilayer optics
Yulin, S.; Feigl, T.; Benoit, N.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Imaging properties of different optics for EUV radiation
Bayer, A.; Barkusky, F.; Peth, C.; Töttger, H.; Mann, K.; Feigl, T.; Kaiser, N.
Konferenzbeitrag
2005Multilayer optics for the EUV and soft X-Rays
Feigl, T.; Yulin, S.; Benoit, N.; Kaiser, N.
Zeitschriftenaufsatz
2005Scatter analysis of optical components from 193 nm to 13.5 nm
Schröder, S.; Kamprath, M.; Gliech, S.; Duparre, A.
Konferenzbeitrag
2004Carbon buffer layers for smoothing substrates of EUV and X-ray multilayer mirrors
Braun, S.; Bendjus, B.; Foltyn, T.; Menzel, M.; Schreiber, J.; Weißbach, D.
Konferenzbeitrag
1988The response of atmospheric radio noise on 27 kHz to long-term solar variability
Schaning, B.
Zeitschriftenaufsatz