Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012
Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Rogler, Daniela
: Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter)
Dissertation
1992
Fernzugriff auf VLSI-Entwurfsdatenbanken
Baumann, P.
Zeitschriftenaufsatz
