Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Rogler, Daniela
: Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter)
Dissertation
1992Fernzugriff auf VLSI-Entwurfsdatenbanken
Baumann, P.
Zeitschriftenaufsatz